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龍圖騰網(wǎng)獲悉三星電子株式會(huì)社申請(qǐng)的專利襯底處理設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN111987016B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202010447216.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)襯底處理設(shè)備是由金炳勛;孔炳煥;裴承龍;安在鉉設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-05-25向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本襯底處理設(shè)備在說明書摘要公布了：一種襯底處理設(shè)備，包括：工藝腔室；支撐部，其設(shè)置在工藝腔室中，具有其中安置有襯底的襯底裝載區(qū)；加熱部，其設(shè)置在與襯底裝載區(qū)相對(duì)的位置中以加熱襯底裝載區(qū)；以及反射構(gòu)件，其設(shè)置在工藝腔室中的與襯底裝載區(qū)相對(duì)的位置中，密封中空部設(shè)置在所述反射構(gòu)件中。

本發(fā)明授權(quán)襯底處理設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種襯底處理設(shè)備，包括：工藝腔室；支撐部，其位于所述工藝腔室中，所述支撐部包括襯底裝載區(qū)，所述襯底裝載區(qū)被構(gòu)造為支撐安置在所述襯底裝載區(qū)中的襯底；加熱部，其被構(gòu)造為加熱所述襯底裝載區(qū)；以及反射構(gòu)件，其在所述工藝腔室中鄰近于所述襯底裝載區(qū)，并且被構(gòu)造為將從所述襯底裝載區(qū)發(fā)散的熱量反射到所述襯底，所述反射構(gòu)件具有位于所述反射構(gòu)件中的密封中空部，所述密封中空部被構(gòu)造為改善所述反射構(gòu)件的熱反射效率，其中，所述反射構(gòu)件包括限定所述密封中空部的第一內(nèi)表面、第二內(nèi)表面和內(nèi)側(cè)表面，所述第一內(nèi)表面面對(duì)所述襯底裝載區(qū)，所述第二內(nèi)表面與所述第一內(nèi)表面相對(duì)，并且所述內(nèi)側(cè)表面連接所述第一內(nèi)表面和所述第二內(nèi)表面，所述反射構(gòu)件包括具有第一反射率的反射性材料，并且所述第一內(nèi)表面和所述第二內(nèi)表面中的至少一個(gè)包括涂覆在其上的具有第二反射率的材料，所述第二反射率高于所述第一反射率。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人三星電子株式會(huì)社，其通訊地址為：韓國京畿道；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。