恭喜杭州能工科技有限公司傘海生獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜杭州能工科技有限公司申請的專利諧振式聲表面波無線無源溫/濕度傳感器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN111486904B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202010517124.2,技術領域涉及:G01D21/02;該發明授權諧振式聲表面波無線無源溫/濕度傳感器是由傘海生;王斌設計研發完成,并于2020-06-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本諧振式聲表面波無線無源溫/濕度傳感器在說明書摘要公布了:本發明公開了一種諧振式聲表面波無線無源溫濕度傳感器,該溫濕度傳感器由溫度傳感器和濕度傳感器平行共面集成在一起,包括復合壓電基底層、叉指換能器、反射柵陣、表面壓電波導層,反射柵陣形成諧振腔,溫度傳感器和濕度傳感器具有相同的諧振器結構和表面壓電波導層結構,在濕度傳感器的表面壓電波導層上方集成有納米濕敏材料。本發明由于聲表面波無源無線傳感器具有非接觸、無電源、抗干擾、保密性好、成本低等優點,已廣泛應用于許多領域。通過使用不同工作頻段的溫濕度傳感器陣列,傳感器陣列無需引線連接,可分布于不同的工作地點,應用不受限制,特別適合一些應用環境復雜和惡劣的場合。
本發明授權諧振式聲表面波無線無源溫/濕度傳感器在權利要求書中公布了:1.諧振式聲表面波無線無源溫濕度傳感器,其特征在于該溫濕度傳感器由溫度傳感器和濕度傳感器平行共面集成在一起,包括復合壓電基底層、設置在復合壓電基底層上的叉指換能器(1-3)、對稱分布在叉指換能器(1-3)左右兩邊的等間距的反射柵陣(1-4)、及設置在叉指換能器(1-3)上方的表面壓電波導層(1-5),所述反射柵陣(1-4)形成諧振腔,復合壓電基底層由厚度為100nm~10mm的叉指換能器壓電層(1-2)和厚度為200mm~500mm的基底壓電層(1-1)組成;所述叉指換能器壓電層(1-2)選用氧化鋅、氮化鋁、鋯鈦酸鉛壓電陶瓷、偏聚氟乙烯中的任一材料制成;所述基底壓電層(1-1)選用能夠產生聲表面橫波的ST-90°x石英、37°y-90°x石英、41°yx-LiNbO3、36°yx-LiTaO3中的任一材料制成,所述溫度傳感器和濕度傳感器具有相同的諧振器結構和表面壓電波導層結構,在濕度傳感器的表面壓電波導層上方集成有納米濕敏材料(1-6);表面壓電波導層(1-5)厚度為10-100nm,其采用與叉指換能器壓電層相同的材料,或采用氧化硅、氧化鈦、氮化硅、聚甲基丙烯酸甲酯中的任一種。
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