買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網恭喜日本株式會社日立高新技術科學申請的專利會聚離子束裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112563100B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011022919.2，技術領域涉及：H01J37/08；該發明授權會聚離子束裝置是由石井晴幸;上本敦;麻畑達也設計研發完成，并于2020-09-25向國家知識產權局提交的專利申請。

本會聚離子束裝置在說明書摘要公布了：提供如下的會聚離子束裝置：能夠針對會聚離子束的多個照射位置，分別自動且高精度地與共心高度對齊。會聚離子束裝置具有電子束鏡筒、會聚離子束鏡筒、以及能夠以傾斜軸為中心傾斜且能夠沿高度方向移動的試樣載臺，其中，會聚離子束裝置還具有：坐標取得單元，在試樣上指定了照射會聚離子束的多個照射位置時，其取得各照射位置的平面坐標；移動量計算單元，其根據平面坐標，針對各照射位置計算使所述試樣載臺移動到共心高度以使所述共心高度與如下的交叉位置一致的移動量，所述交叉位置是電子束和會聚離子束一致的位置；以及試樣載臺移動控制單元，其針對各照射位置，根據移動量使試樣載臺移動到共心高度。

本發明授權會聚離子束裝置在權利要求書中公布了：1.一種會聚離子束裝置，其具有：電子束鏡筒，其用于對試樣照射電子束；會聚離子束鏡筒，其用于對所述試樣照射會聚離子束；以及試樣載臺，其直接或間接地載置所述試樣，能夠以與所述電子束和所述會聚離子束正交的傾斜軸為中心傾斜，并且能夠沿高度方向移動，其特征在于，所述會聚離子束裝置還具有：坐標取得單元，在針對所述試樣指定了照射所述會聚離子束的多個照射位置時，該坐標取得單元取得各照射位置的平面坐標；移動量計算單元，其根據所述平面坐標，針對所述各照射位置計算使所述試樣載臺移動到共心高度Zs以使所述共心高度Zs與如下的交叉位置一致的移動量，所述交叉位置是所述電子束和所述會聚離子束一致的位置；以及試樣載臺移動控制單元，其針對所述各照射位置，根據所述移動量使所述試樣載臺移動到共心高度Zs，所述試樣載臺移動控制單元使所述試樣載臺沿Y軸方向移動，以對所述照射位置向所述Y軸方向偏移的偏移量L進行補償，其中，所述Y軸與所述試樣載臺的水平面平行且與所述傾斜軸正交，所述試樣載臺移動控制單元以反映出因所述偏移量L引起的所述共心高度Zs的變動的方式，計算所述移動量。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人日本株式會社日立高新技術科學，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。