恭喜東京毅力科創(chuàng)株式會社波多野達夫獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜東京毅力科創(chuàng)株式會社申請的專利基板輸送裝置和基板處理系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114731104B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202080080938.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H02K41/03；該發(fā)明授權(quán)基板輸送裝置和基板處理系統(tǒng)是由波多野達夫;宮下哲也;渡邊直樹;鈴木直行設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-11-20向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本基板輸送裝置和基板處理系統(tǒng)在說明書摘要公布了：提供一種輸送基板的基板輸送裝置。基板輸送裝置包括：第1平面馬達，其設(shè)于第1室，并具有排列著的線圈；第2平面馬達，其設(shè)于與所述第1室連接的第2室，并具有排列著的線圈；一對輸送單元，其在所述第1平面馬達和或所述第2平面馬達上移動，并能夠輸送基板；以及控制部，其控制所述第1平面馬達和所述第2平面馬達的線圈的通電。
本發(fā)明授權(quán)基板輸送裝置和基板處理系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基板輸送裝置，其中，該基板輸送裝置包括：第1平面馬達，其設(shè)于第1室，并具有排列著的線圈；第2平面馬達，其設(shè)于與所述第1室連接的第2室，并具有排列著的線圈；一對輸送單元，其在所述第1平面馬達和或所述第2平面馬達上移動，并能夠輸送基板，其中所述一對輸送單元用于共同支承單個基板；以及控制部，其控制所述第1平面馬達和所述第2平面馬達的線圈的通電，其中，所述控制部在維持著所述一對輸送單元的相對的位置關(guān)系的狀態(tài)下使所述一對輸送單元移動從而輸送所述單個基板，其中，所述第1室和所述第2室借助閘閥連接，所述閘閥成為未配置所述線圈的區(qū)域，在所述一對輸送單元從所述第1室向著所述第2室跨越所述閘閥時，所述控制部以增大所述閘閥側(cè)的排斥力的方式控制所述第1平面馬達所產(chǎn)生的磁場。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人東京毅力科創(chuàng)株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
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