恭喜東京毅力科創株式會社波多野達夫獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜東京毅力科創株式會社申請的專利基板輸送裝置和基板處理系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114731104B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080080938.2，技術領域涉及：H02K41/03；該發明授權基板輸送裝置和基板處理系統是由波多野達夫;宮下哲也;渡邊直樹;鈴木直行設計研發完成，并于2020-11-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板輸送裝置和基板處理系統在說明書摘要公布了：提供一種輸送基板的基板輸送裝置。基板輸送裝置包括：第1平面馬達，其設于第1室，并具有排列著的線圈；第2平面馬達，其設于與所述第1室連接的第2室，并具有排列著的線圈；一對輸送單元，其在所述第1平面馬達和或所述第2平面馬達上移動，并能夠輸送基板；以及控制部，其控制所述第1平面馬達和所述第2平面馬達的線圈的通電。
本發明授權基板輸送裝置和基板處理系統在權利要求書中公布了：1.一種基板輸送裝置，其中，該基板輸送裝置包括：第1平面馬達，其設于第1室，并具有排列著的線圈；第2平面馬達，其設于與所述第1室連接的第2室，并具有排列著的線圈；一對輸送單元，其在所述第1平面馬達和或所述第2平面馬達上移動，并能夠輸送基板，其中所述一對輸送單元用于共同支承單個基板；以及控制部，其控制所述第1平面馬達和所述第2平面馬達的線圈的通電，其中，所述控制部在維持著所述一對輸送單元的相對的位置關系的狀態下使所述一對輸送單元移動從而輸送所述單個基板，其中，所述第1室和所述第2室借助閘閥連接，所述閘閥成為未配置所述線圈的區域，在所述一對輸送單元從所述第1室向著所述第2室跨越所述閘閥時，所述控制部以增大所述閘閥側的排斥力的方式控制所述第1平面馬達所產生的磁場。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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