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龍圖騰網(wǎng)獲悉中國(guó)石油化工股份有限公司;中國(guó)石油化工股份有限公司石油工程技術(shù)研究院;中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所申請(qǐng)的專利具有低噪聲的微機(jī)械檢測(cè)結(jié)構(gòu)及設(shè)計(jì)方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114910665B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110177420.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01P15/125；該發(fā)明授權(quán)具有低噪聲的微機(jī)械檢測(cè)結(jié)構(gòu)及設(shè)計(jì)方法是由丁士東;張衛(wèi);鄭奕挺;胡越發(fā);宗艷波;張志勇;盛百城;王寧設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-02-09向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本具有低噪聲的微機(jī)械檢測(cè)結(jié)構(gòu)及設(shè)計(jì)方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種具有低噪聲的微機(jī)械檢測(cè)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方法，其包含：步驟一：分別確定影響微機(jī)械檢測(cè)結(jié)構(gòu)的機(jī)械布朗噪聲以及靈敏度的影響參數(shù)；步驟二：以減少機(jī)械布朗噪聲，保證靈敏度不變或增加為原則，從所述影響參數(shù)中選擇需要進(jìn)行改變的改變參數(shù)以及針對(duì)所述改變參數(shù)的改變策略；步驟三：考慮不同加工工藝的影響，在進(jìn)行微機(jī)械檢測(cè)結(jié)構(gòu)加工時(shí)依據(jù)所述改變策略進(jìn)行加工工藝改進(jìn)。本發(fā)明能夠在常壓下進(jìn)行圓片封裝，避免了真空封裝的復(fù)雜性和高成本，提高了器件的可靠性。此外，能夠在保證靈敏度等重要指標(biāo)不變的前提下，大幅降低加速度計(jì)的機(jī)械布朗噪聲，提升傳感器的整體性能。

本發(fā)明授權(quán)具有低噪聲的微機(jī)械檢測(cè)結(jié)構(gòu)及設(shè)計(jì)方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種具有低噪聲的微機(jī)械檢測(cè)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方法，其特征在于，所述方法包含以下步驟：步驟一：分別確定影響微機(jī)械檢測(cè)結(jié)構(gòu)的機(jī)械布朗噪聲以及靈敏度的影響參數(shù)，其中，微機(jī)械檢測(cè)結(jié)構(gòu)采用蹺蹺板結(jié)構(gòu)形式；步驟二：以減少機(jī)械布朗噪聲，保證靈敏度不變或增加為原則，從所述影響參數(shù)中選擇需要進(jìn)行改變的改變參數(shù)以及針對(duì)所述改變參數(shù)的改變策略；步驟三：考慮不同加工工藝的影響，在進(jìn)行微機(jī)械檢測(cè)結(jié)構(gòu)加工時(shí)依據(jù)所述改變策略進(jìn)行加工工藝改進(jìn)；所述步驟一中具體包含以下步驟：依據(jù)微機(jī)械檢測(cè)結(jié)構(gòu)的機(jī)械布朗噪聲計(jì)算表達(dá)式，確定阻尼系數(shù)、敏感結(jié)構(gòu)質(zhì)量以及敏感結(jié)構(gòu)質(zhì)心距離轉(zhuǎn)軸位置作為影響機(jī)械布朗噪聲的影響參數(shù)；依據(jù)微機(jī)械檢測(cè)結(jié)構(gòu)的靈敏度計(jì)算表達(dá)式，確定所述敏感結(jié)構(gòu)質(zhì)心距離轉(zhuǎn)軸位置作為影響靈敏度的影響參數(shù)。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人中國(guó)石油化工股份有限公司;中國(guó)石油化工股份有限公司石油工程技術(shù)研究院;中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所，其通訊地址為：100728 北京市朝陽(yáng)區(qū)朝陽(yáng)門北大街22號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。