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龍圖騰網恭喜中國石油化工股份有限公司;中國石油化工股份有限公司石油工程技術研究院;中國電子科技集團公司第十三研究所申請的專利具有低噪聲的微機械檢測結構及設計方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114910665B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110177420.7，技術領域涉及：G01P15/125；該發明授權具有低噪聲的微機械檢測結構及設計方法是由丁士東;張衛;鄭奕挺;胡越發;宗艷波;張志勇;盛百城;王寧設計研發完成，并于2021-02-09向國家知識產權局提交的專利申請。

本具有低噪聲的微機械檢測結構及設計方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種具有低噪聲的微機械檢測結構設計方法，其包含：步驟一：分別確定影響微機械檢測結構的機械布朗噪聲以及靈敏度的影響參數；步驟二：以減少機械布朗噪聲，保證靈敏度不變或增加為原則，從所述影響參數中選擇需要進行改變的改變參數以及針對所述改變參數的改變策略；步驟三：考慮不同加工工藝的影響，在進行微機械檢測結構加工時依據所述改變策略進行加工工藝改進。本發明能夠在常壓下進行圓片封裝，避免了真空封裝的復雜性和高成本，提高了器件的可靠性。此外，能夠在保證靈敏度等重要指標不變的前提下，大幅降低加速度計的機械布朗噪聲，提升傳感器的整體性能。

本發明授權具有低噪聲的微機械檢測結構及設計方法在權利要求書中公布了：1.一種具有低噪聲的微機械檢測結構設計方法，其特征在于，所述方法包含以下步驟：步驟一：分別確定影響微機械檢測結構的機械布朗噪聲以及靈敏度的影響參數，其中，微機械檢測結構采用蹺蹺板結構形式；步驟二：以減少機械布朗噪聲，保證靈敏度不變或增加為原則，從所述影響參數中選擇需要進行改變的改變參數以及針對所述改變參數的改變策略；步驟三：考慮不同加工工藝的影響，在進行微機械檢測結構加工時依據所述改變策略進行加工工藝改進；所述步驟一中具體包含以下步驟：依據微機械檢測結構的機械布朗噪聲計算表達式，確定阻尼系數、敏感結構質量以及敏感結構質心距離轉軸位置作為影響機械布朗噪聲的影響參數；依據微機械檢測結構的靈敏度計算表達式，確定所述敏感結構質心距離轉軸位置作為影響靈敏度的影響參數。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國石油化工股份有限公司;中國石油化工股份有限公司石油工程技術研究院;中國電子科技集團公司第十三研究所，其通訊地址為：100728 北京市朝陽區朝陽門北大街22號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。