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龍圖騰網恭喜魯東大學申請的專利一種激光鉆孔三維球形電極探測器、設計方法及應用獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113809200B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110860344.X，技術領域涉及：H10F71/00；該發明授權一種激光鉆孔三維球形電極探測器、設計方法及應用是由譚澤文;李正;李鑫卿;蔡新毅;王洪斐;劉曼文;熊波設計研發完成，并于2021-07-27向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種激光鉆孔三維球形電極探測器、設計方法及應用在說明書摘要公布了：本發明屬于半導體探測器技術領域，公開了一種激光鉆孔三維球形電極探測器、設計方法及應用，通過激光器多次均勻打孔形成溝槽，在溝槽內通過離子擴散的方法進行摻雜，最終形成球形電極。N型輕摻雜硅基體上端中間摻雜有N型重摻雜陽極，N型重摻雜陽極外側摻雜有多個等距間隔排列的P型重摻雜上表面環；N型輕摻雜硅基體底部設置有P型重摻雜陰極，P型重摻雜陰極設置有P型重摻雜環和P型重摻雜面。本發明陽極到陰極間距離相同，使探測器內電勢分布非常均勻，提高了新型探測器單元的電荷收集率；上表面重摻雜環的設計使探測器單元內表面電場分布更加均勻；根據現有工藝，通過激光器均勻鉆孔，離子擴散摻雜的方法，可以實現球形電極。

本發明授權一種激光鉆孔三維球形電極探測器、設計方法及應用在權利要求書中公布了：1.一種激光鉆孔三維球形電極探測器的設計方法，其特征在于，所述激光鉆孔三維球形電極探測器的設計方法包括：通過激光器多次均勻打孔形成溝槽，在溝槽內通過離子擴散的方法進行摻雜，最終形成球形電極；激光鉆孔三維球形電極探測器是在刻蝕柱與硅基體之間形成PN結，通過外加反偏電壓形成外部電場，使其中電子向陽極漂移，空穴向陰極漂移，電子被探測器上表面中心陽極收集，所以此處電勢最高；然后通過外端集成電路對反饋的電流信號進行處理后，得到有關入射粒子的能量、位置、運動軌跡信息；所述球形電極中，陽極到陰極間距離相同，使球形電極內電勢分布均勻；所述激光鉆孔三維球形電極探測器的設計方法進一步包括結構尺寸和內部構造的設計，通過以下公式計算得出：設定d＝R,間距P,間隙g＝βPxi＝iPi＝1,2,....N d＝R,xN＝R,yN＝ξR,0＜ξ＜1,其中R＝200μm，β＝0.8，P＝20μm，W＝16，xi代表刻蝕柱中心坐標到原點的距離，yi代表刻蝕柱的高度，i代表刻蝕柱序號，N代表數量，y10＝0.9*R。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人魯東大學，其通訊地址為：264025 山東省煙臺市芝罘區紅旗中路186號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。