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龍圖騰網(wǎng)恭喜復(fù)旦大學(xué)申請(qǐng)的專利一種快速生長(zhǎng)雙層石墨烯單晶的方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115726033B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111011430.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C30B29/02；該發(fā)明授權(quán)一種快速生長(zhǎng)雙層石墨烯單晶的方法是由孫正宗;鞏鵬;唐燦設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-08-31向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種快速生長(zhǎng)雙層石墨烯單晶的方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明提供了一種快速生長(zhǎng)雙層石墨烯單晶的方法，包括以下步驟：步驟1，把催化劑和拋光處理后的銅箔放入兩個(gè)石英舟并置于石英管內(nèi)，石英管外部有加熱套和管式爐，將催化劑置于加熱套中心，銅箔置于管式爐中央，打開(kāi)連接石英管的真空泵，對(duì)加熱套和管式爐進(jìn)行升溫，直到壓強(qiáng)降低至預(yù)設(shè)壓強(qiáng)；步驟2，在真空中對(duì)銅箔退火處理；步驟3，向石英管中通入氫氣和二氧化碳，并迅速調(diào)節(jié)壓力，在催化劑作用下反應(yīng)生成甲烷、一氧化碳和水，甲烷作為直接碳源，在含氧刻蝕性組分中在銅箔上生長(zhǎng)得到雙層石墨烯單晶；步驟4，將銅箔從管式爐中央移出，通入氫氣并在設(shè)定壓力中迅速降溫；步驟5，取出降溫至室溫的銅箔，并將銅箔上的雙層石墨烯單晶轉(zhuǎn)移到硅片上。

本發(fā)明授權(quán)一種快速生長(zhǎng)雙層石墨烯單晶的方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種快速生長(zhǎng)雙層石墨烯單晶的方法，其特征在于，包括以下步驟：步驟1，把催化劑和拋光處理后的銅箔分別放入兩個(gè)石英舟中并置于石英管內(nèi)，該石英管的外部分別設(shè)有加熱套和管式爐，將所述催化劑置于加熱套的中心位置，將所述銅箔置于所述管式爐的中央，打開(kāi)連接所述石英管內(nèi)部的真空泵，并對(duì)所述加熱套和所述管式爐進(jìn)行升溫，直到所述石英管內(nèi)的壓強(qiáng)降低至預(yù)設(shè)壓強(qiáng)；步驟2，在真空的氛圍下，對(duì)所述銅箔進(jìn)行退火處理；步驟3，將二氧化碳作為碳源，氫氣作為還原氣，向所述石英管中通入氫氣和二氧化碳，并迅速調(diào)節(jié)壓力，所述二氧化碳和所述氫氣在所述催化劑作用下反應(yīng)生成甲烷、一氧化碳和水，所述甲烷作為直接碳源，在含氧刻蝕性組分中在所述銅箔上生長(zhǎng)得到雙層石墨烯單晶；步驟4，生長(zhǎng)結(jié)束后，將所述銅箔從所述管式爐的中央移出，只通入氫氣并在設(shè)定壓力的氛圍中迅速降溫；步驟5，取出降溫至室溫的所述銅箔，并將所述銅箔上的所述雙層石墨烯單晶轉(zhuǎn)移到硅片上，其中，所述含氧刻蝕性組分為二氧化碳、一氧化碳和水，所述含氧刻蝕性組分和所述甲烷的比例為1.2-1.3，所述催化劑為NiAl2O3，該催化劑的催化溫度為300℃，生長(zhǎng)溫度為1000℃-1055℃，所述步驟3中，氫氣的通入流量為200sccm，二氧化碳的通入流量為1.5sccm，調(diào)節(jié)壓力至1000Pa-1200Pa，所述雙層石墨烯單晶在所述銅箔上的生長(zhǎng)時(shí)長(zhǎng)為40min，所述步驟4中，氫氣流量為100sccm，設(shè)定壓力為100Pa。

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