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恭喜阿德特克等離子技術公司高原敏浩獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜阿德特克等離子技術公司申請的專利高頻電源獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115083878B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202111329951.X,技術領域涉及:H01J37/32;該發明授權高頻電源是由高原敏浩;岸良貴通;田中克典設計研發完成,并于2021-11-10向國家知識產權局提交的專利申請。

高頻電源在說明書摘要公布了:本發明提供一種能夠由用戶任意地設定所輸出的高頻電力的電力值的隨時間推移而變化的圖案的高頻電源。本發明所涉及的高頻電源10A具備:輸出部20,經由阻抗匹配器30向負載40輸出高頻電力;數據存儲部13A,存儲由用戶生成的指令數據;以及控制部12A,基于在數據存儲部13A中存儲的指令數據來控制輸出部20以及阻抗匹配器30。構成指令數據的多個記錄分別包含與應該輸出的高頻電力的電力值相關的電力指令數據、和與阻抗匹配器30的動作的有無相關的匹配動作指令數據,控制部基于電力指令數據而生成的電力信號發送至輸出部,并且將基于匹配動作指令數據而生成的同步信號發送至阻抗匹配器。

本發明授權高頻電源在權利要求書中公布了:1.一種高頻電源,經由常數被變更的阻抗匹配器向負載輸出高頻電力,所述高頻電源的特征在于,具備:輸出部,輸出所述高頻電力;數據存儲部,存儲由用戶生成的指令數據;以及控制部,基于在所述數據存儲部中存儲的所述指令數據來控制所述輸出部及所述阻抗匹配器,所述指令數據由與沿時間排列的多個控制單位期間對應的多個記錄構成,所述多個記錄分別包含與應該輸出的所述高頻電力的電力值相關的電力指令數據、和與所述阻抗匹配器的動作的有無相關的匹配動作指令數據,所述控制部將基于所述多個記錄的所述電力指令數據而生成的電力信號發送至所述輸出部,并且將基于所述多個記錄的所述匹配動作指令數據而生成的同步信號發送至所述阻抗匹配器。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人阿德特克等離子技術公司,其通訊地址為:日本國廣島縣;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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