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龍圖騰網恭喜意法半導體股份有限公司申請的專利MEMS微粒傳感器獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114689471B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111637537.5，技術領域涉及：G01N15/00；該發明授權MEMS微粒傳感器是由F·方希里諾設計研發完成，并于2021-12-29向國家知識產權局提交的專利申請。

本MEMS微粒傳感器在說明書摘要公布了：本公開的各實施例涉及MEMS微粒傳感器。提供了一種用于感測MEMS感測設備外部環境中的微粒的MEMS感測設備。MEMS感測設備包括半導體本體，該半導體本體集成傳感器和泵單元，傳感器包括傳感器腔、被懸置在傳感器腔上方的膜、以及壓電元件，該壓電元件位于膜上方，并且被配置為當感測電信號在MEMS感測設備的第一操作階段期間被施加到壓電元件時，使膜以對應共振頻率圍繞平衡位置振蕩，該共振頻率取決于位于膜上的微粒的數量，膜具有多個通孔，用于在傳感器腔與環境之間建立流體連通；泵被配置為在第一操作階段期間使傳感器腔中的空氣壓力相對于環境的空氣壓力降低，使得微粒由通過多個通孔的吸力粘附到膜上。

本發明授權MEMS微粒傳感器在權利要求書中公布了：1.一種MEMS感測設備，用于感測所述MEMS感測設備外部環境中的微粒，所述MEMS感測設備包括：半導體本體，集成傳感器和泵；其中所述傳感器包括傳感器腔、被懸置在所述傳感器腔上方的膜、以及壓電元件，所述壓電元件位于所述膜上方，并且被配置為當感測電信號在所述MEMS感測設備的第一操作階段期間被施加到所述壓電元件時，使所述膜圍繞平衡位置并且以共振頻率振蕩，所述共振頻率取決于位于所述膜上的微粒的數量；其中所述膜包括多個通孔，所述多個通孔被配置為在所述傳感器腔與所述環境之間建立流體連通；其中所述泵與所述傳感器相鄰，通過在所述半導體本體中延伸的管道被連接到所述傳感器，并且被配置為在所述第一操作階段期間使所述傳感器腔中的空氣壓力相對于所述環境的所述空氣壓力被降低，使得微粒由通過所述多個通孔的吸力粘附到所述膜上；并且其中所述泵被配置為在第二操作階段期間使所述傳感器腔中的空氣壓力相對于所述環境的所述空氣壓力被增加，使得微粒由通過所述多個通孔的吹力被吹離所述膜，從而清潔所述膜。

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