恭喜拓荊科技股份有限公司譚華強獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜拓荊科技股份有限公司申請的專利一種UV微波屏蔽結構和反應腔設備獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114256111B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202111669165.4,技術領域涉及:H01L21/67;該發明授權一種UV微波屏蔽結構和反應腔設備是由譚華強;李蓬勃設計研發完成,并于2021-12-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種UV微波屏蔽結構和反應腔設備在說明書摘要公布了:本申請實施例提供一種UV微波屏蔽結構和反應腔設備,用于屏蔽UV光源的微波,所述UV微波屏蔽結構包括透光基座,所述透光基座內部設置有金屬網。透光基座內部設置金屬網,透光基座在不影響紫外線對待處理產品的照射的前提下,作為金屬網的支撐結構件,且金屬網位于透光基座內部,可以得到保護,則金屬網處于相對穩定的狀態,不易偏移、變形等,從而更好地發揮其屏蔽微波的功能,使用壽命也更長。此外,也正因為金屬網的結構穩定,金屬網的網格尺寸可以設置的更大,金屬網的金屬線的直徑也可以設置的更小,也就說可以設置的更細,從而節省材料。
本發明授權一種UV微波屏蔽結構和反應腔設備在權利要求書中公布了:1.反應腔設備,包括第一腔體結構,所述第一腔體結構形成第一腔室,所述第一腔室內設有UV光源,所述反應腔設備還包括UV微波屏蔽結構,所述UV微波屏蔽結構用于屏蔽UV光源的微波,所述UV微波屏蔽結構設置于所述第一腔室內,其特征在于,所述UV微波屏蔽結構包括透光基座,所述透光基座內部設置有金屬網;所述透光基座設有多個通孔;所述透光基座與所述金屬網的每個網格區域對應的位置均設有一個或一個以上的所述通孔;所述反應腔設備包括容置所述UV光源的箱體,所述箱體的底部開口,所述透光基座封住所述開口,以將微波封鎖在所述UV光源的工作區域內;所述反應腔設備包括流經所述UV光源的氣體循環回路;所述氣體循環回路包括所述通孔。
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