恭喜朗姆研究公司卡皮爾·索拉尼獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利使用計算機視覺系統的原位室清潔終點檢測系統和方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN109698144B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201811223497.8，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權使用計算機視覺系統的原位室清潔終點檢測系統和方法是由卡皮爾·索拉尼;蓋瑞·B·利德;邁克爾·丹克;羅納德·鮑威爾;邁克爾·拉莫;卡伊翰·阿什蒂亞尼設計研發完成，并于2018-10-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本使用計算機視覺系統的原位室清潔終點檢測系統和方法在說明書摘要公布了：本發明涉及使用計算機視覺系統的原位室清潔終點檢測系統和方法。一種系統包括安裝在處理室的窗外部并鄰近所述窗的相機，所述處理室被配置成處理半導體襯底。所述窗使得所述相機能觀察到所述處理室內的部件。所述相機被配置為于在正在所述處理室內執行的處理期間生成指示所述部件的狀態的視頻信號。該系統還包括耦合到所述處理室上的控制器。該控制器被配置成：控制所述相機；處理來自所述相機的所述視頻信號；根據對所述視頻信號的所述處理確定所述部件的狀態；以及根據所述部件的所述狀態確定是否終止所述處理。
本發明授權使用計算機視覺系統的原位室清潔終點檢測系統和方法在權利要求書中公布了：1.一種襯底處理系統，其包括：安裝在處理室的窗外部并鄰近所述窗的相機，所述處理室被配置成處理半導體襯底，所述窗使得所述相機能觀察到所述處理室內的部件，所述相機被配置為在正在所述處理室內執行的處理期間生成指示所述部件的狀態的視頻信號；光學濾波器，其布置在所述相機和所述窗之間，所述光學濾波器被配置為過濾通過所述窗從所述部件接收的光的一種或多種波長，并將過濾后的信號輸出到所述相機；以及控制器，其耦合到所述處理室并被配置成：控制所述相機；處理來自所述相機的所述視頻信號；基于使用光學干涉處理所述過濾后的信號來確定所述部件的狀態；以及基于所述部件的所述狀態確定是否終止所述處理，其中，所述控制器被配置為確定在所述部件上的不同位置處執行所述處理的速率。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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