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龍圖騰網恭喜上海朋熙半導體有限公司申請的專利一種半導體生產流程的自由停機控制系統、方法及設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119126728B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411604137.8，技術領域涉及：G05B19/418；該發明授權一種半導體生產流程的自由停機控制系統、方法及設備是由曹宏輝;楊哲設計研發完成，并于2024-11-12向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種半導體生產流程的自由停機控制系統、方法及設備在說明書摘要公布了：本申請實施例涉及半導體制造控制技術領域，公開了一種半導體生產流程的自由停機控制系統、方法及設備。該系統包括：包括信號監聽模塊，用以對停機信號進行監聽；線程調用模塊，用以對停機線程進行調用；線程阻塞模塊，用以對停機線程進行阻塞；調度監控模塊，用以對流程調度節點實例池中的流程節點實例狀態進行監測；流程引擎，用以對流程節點實例狀態進行更新，還用以根據流程節點實例狀態對流程調度節點實例池進行控制；狀態判斷模塊，用以根據節點實例池中“待調度”和“運行中”節點實例數量對節點實例狀態進行判斷，還用以對停機線程放行情況進行判斷。可以至少用以解決傳統的自由停機控制效率低的技術問題。

本發明授權一種半導體生產流程的自由停機控制系統、方法及設備在權利要求書中公布了：1.一種半導體生產流程的自由停機控制系統，其特征在于，包括：信號監聽模塊，用以對停機信號進行監聽；所述信號監聽模塊通過JVM對停機信號進行監聽，其中：當JVM監聽到非停機信號時，所述信號監聽模塊判斷停機信號的監聽結果為不存在停機信號；當JVM監聽到停機信號時，所述信號監聽模塊判斷停機信號的監聽結果為存在停機信號；線程調用模塊，用以根據停機信號的監聽結果對停機線程進行調用；所述線程調用模塊根據停機信號的監聽結果對停機線程的調用情況進行判斷，其中：當判斷停機信號的監聽結果為不存在停機信號時，所述線程調用模塊判定不對停機線程進行調用；當判斷停機信號的監聽結果為存在停機信號時，所述線程調用模塊判定對停機線程進行調用，對停機線程進行執行；線程阻塞模塊，用以根據停機線程的調用情況對停機線程進行阻塞，并對觸發器進行關閉；所述線程阻塞模塊在所述線程調用模塊判定對停機線程進行調用時，通過阻塞線程里的死循環來判斷節點實例池中是否存在“運行中”“待調度”節點實例，并對觸發器進行關閉；調度監控模塊，用以對流程調度節點實例池中的流程節點實例狀態進行監測；流程引擎，用以對流程節點實例狀態進行更新，還用以根據流程節點實例狀態對流程調度節點實例池進行控制；狀態判斷模塊，用以根據節點實例池中“待調度”和“運行中”節點實例數量對節點實例狀態進行判斷，還用以對停機線程放行情況進行判斷；所述狀態判斷模塊對流程調度節點實例池中的流程節點實例狀態進行監測，其中：當流程調度節點實例池中的流程節點實例調度運行完畢時，所述流程引擎模塊將流程節點實例狀態設定為已運行；當流程調度節點實例池中的流程節點實例開始調度運行時，所述流程引擎模塊將流程節點實例狀態設定為運行中；當流程調度節點實例池中的新調度生成的流程節點實例為待調度時，所述流程引擎模塊將流程節點實例狀態設定為待調度。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海朋熙半導體有限公司，其通訊地址為：201208 上海市浦東新區涵橋路619號金鼎天地C棟15-17樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。