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龍圖騰網恭喜長春理工大學中山研究院申請的專利一種異形工件多層協同光刻套刻對準系統及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119472192B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510067089.1，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權一種異形工件多層協同光刻套刻對準系統及方法是由劉夢楠;董莉彤;胡婧;高明燕;王作斌;劉慧;羅杰;宋正勛;梁曉琨設計研發完成，并于2025-01-16向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種異形工件多層協同光刻套刻對準系統及方法在說明書摘要公布了：本發明涉及微納加工領域，本發明提供一種異形工件多層協同光刻套刻對準系統及方法，該系統包括以下系統包括以下三層對準標記：A）底層異形夾具層對準標記；B）上層光刻掩模板層對準標記；C）中間層異形工件層對準標記；這三層對準標記和異形夾具通過精確設計，能夠固定異形工件并在空間位置上并形成對應關系，在套刻對準過程中，通過同時調整這三層標記的相對位置，實現高精度的多維對準；該方法的核心步驟包括：A）初始粗對準；B）精細對準；C）角度偏差校正；D）迭代優化。這種多層協同對準方法充分利用了各層標記的特點，能夠有效補償異形工件在多次加工過程中可能產生的累積誤差，顯著提高了套刻對準的精度和可靠性。

本發明授權一種異形工件多層協同光刻套刻對準系統及方法在權利要求書中公布了：1.一種異形工件多層協同光刻套刻對準方法，其特征在于：使用一種異形工件多層協同光刻套刻對準系統，所述異形工件多層協同光刻套刻對準系統包括：位于底層的異形夾具，其上設有異形夾具層對準標記；位于上層的光刻掩模板，其上設有光刻掩模板層對準標記；位于中間層的異形工件，其上設有異形工件層對準標記；其中，所述異形夾具用于固定異形工件，且異形夾具層對準標記、光刻掩模板層對準標記、以及異形工件層對準標記在空間位置上形成對應關系；異形工件多層協同光刻套刻對準系統還包括：用于角度偏差校正的角度偏移檢測標記，所述角度偏移檢測標記為橫向和縱向條紋陣列，橫向條紋陣列位于異形夾具層對準標記和光刻掩模板層對準標記下方或者上方，縱向條紋陣列位于異形夾具層對準標記和光刻掩模板層對準標記左側或者右側；光刻掩模板層、異形夾具層和異形工件層均具有角度偏移檢測標記，且光刻掩模板層上的角度偏移檢測標記分別與異形夾具層和異形工件層的角度偏移檢測標記對應；所述方法包括以下步驟：步驟B1：初始粗對準：調整異形夾具層對準標記和角度偏移檢測標記檢測與光刻掩模板層對準標記的相對位置；步驟B2：精細對準：利用異形工件層對準標記與光刻掩模板層對準標記進行精確對準；步驟B3：角度偏差校正：利用光刻掩模板和異形工件上的角度偏移檢測標記檢測并校正旋轉角度偏差；步驟B4：迭代優化：通過多次微調異形工件層和光刻掩模板層對準標記的相對位置，實現最優對準效果。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人長春理工大學中山研究院，其通訊地址為：528437 廣東省中山市火炬開發區會展東路16號數碼大廈15-17層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。