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龍圖騰網(wǎng)恭喜山東大學(xué)申請的專利一種兩步法制備的鎵酸鋅薄膜及制備方法和應(yīng)用獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119615360B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510152255.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C30B25/18；該發(fā)明授權(quán)一種兩步法制備的鎵酸鋅薄膜及制備方法和應(yīng)用是由李陽;徐夢凡;展茜茜;穆文祥;賈志泰設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-02-12向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種兩步法制備的鎵酸鋅薄膜及制備方法和應(yīng)用在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種兩步法制備的鎵酸鋅薄膜及制備方法和應(yīng)用，屬于半導(dǎo)體材料技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明提供了一種兩步法制備鎵酸鋅薄膜的方法包括以下步驟：對C面藍(lán)寶石襯底進(jìn)行預(yù)處理，去除表面雜質(zhì)和水分，得到預(yù)處理藍(lán)寶石襯底；將乙酰丙酮鎵溶液和乙酰丙酮鋅溶液混合后，加入鹽酸，攪拌至完全溶解后，靜置后獲得上層清液；在常壓條件下，以惰性氣體為載流氣體，將上層清液進(jìn)行超聲霧化處理后輸送到預(yù)處理藍(lán)寶石襯底表面，在500℃~550℃下沉積形成成核層，然后升溫至600℃~650℃沉積形成外延膜，得到單晶尖晶石鎵酸鋅薄膜。本發(fā)明通過兩步法制備得到了更高質(zhì)量的鎵酸鋅薄膜。

本發(fā)明授權(quán)一種兩步法制備的鎵酸鋅薄膜及制備方法和應(yīng)用在權(quán)利要求書中公布了：1.一種兩步法制備鎵酸鋅薄膜的方法，其特征在于，包括以下步驟：對C面藍(lán)寶石襯底進(jìn)行預(yù)處理，去除表面雜質(zhì)和水分，得到預(yù)處理藍(lán)寶石襯底；將乙酰丙酮鎵溶液和乙酰丙酮鋅溶液混合后，加入鹽酸，攪拌至完全溶解后，靜置后獲得上層清液；在常壓條件下，以惰性氣體為載流氣體，將上層清液進(jìn)行超聲霧化處理后輸送到預(yù)處理藍(lán)寶石襯底表面，在500℃～550℃下沉積0.5h形成成核層，然后升溫至600℃～650℃沉積1h形成外延膜，得到單晶尖晶石鎵酸鋅薄膜。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人山東大學(xué)，其通訊地址為：250100 山東省濟(jì)南市歷城區(qū)山大南路27號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。