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龍圖騰網恭喜杭州眾硅電子科技有限公司申請的專利一種用于電化學機械平坦化設備的電拋光頭、導電系統及其裝配方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119685914B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510187787.5，技術領域涉及：C25F7/00；該發明授權一種用于電化學機械平坦化設備的電拋光頭、導電系統及其裝配方法是由盛思杰;蔡寧遠;朱自強設計研發完成，并于2025-02-20向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種用于電化學機械平坦化設備的電拋光頭、導電系統及其裝配方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種用于電化學機械平坦化設備的電拋光頭、導電系統及其裝配方法，電拋光頭包括導電件，穿設于拋光頭承載件，用于連接外部供電單元；導電柱，穿設于拋光頭或拋光頭承載件，至少包括外殼，伸縮件，及導電探針，導電探針和外殼分別與伸縮件連接，以使得導電探針與外殼可沿軸向相對滑動，并且導電探針外壁與外殼內壁接觸且導電，使得導電探針與外殼之間形成滑動接觸式導電；導電柱連接單元，設于拋光頭，與導電柱可拆卸連接。本發明在有限密閉空間中，采用一種滑動接觸形式的導電裝置，緊密連接兩個相鄰部件的導電結構，使電能高效地在相鄰部件傳輸。

本發明授權一種用于電化學機械平坦化設備的電拋光頭、導電系統及其裝配方法在權利要求書中公布了：1.一種用于電化學機械平坦化設備的電拋光頭，其特征在于：包括，導電件5，穿設于拋光頭承載件11，用于連接外部供電單元6；導電柱3，穿設于拋光頭1或拋光頭承載件11，至少包括外殼31，伸縮件32，及導電探針33，所述導電探針33和外殼31分別與伸縮件32連接，以使得導電探針33與外殼31可沿軸向相對滑動，并且導電探針33外壁與外殼31內壁接觸且導電，使得導電探針33與外殼31之間形成滑動接觸式導電；所述導電探針33頭部設置有導電件連接件2，該導電件連接件2形成限位凹槽21，所述導電探針33端部形成可與限位凹槽21限位配合的端頭331；所述導電柱3端部設有螺紋段34，其與導電柱連接單元4螺紋連接，以增加接觸面積傳遞電能；導電柱連接單元4，設于拋光頭1，與所述導電柱3可拆卸連接；所述導電柱連接單元4包括與拋光頭1相配合的導電結構件41，柔性電纜42，及導電柱連接件43，所述導電柱連接件43與導電柱3可拆卸連接，所述柔性電纜42分別電連接導電結構件41和拋光頭1內的導電盤12；所述柔性電纜42的數量為一個或兩個及以上；所述拋光頭1形成有腔體14，所述柔性電纜42彎曲容納于該腔體14，以給導電盤12和拋光頭1的裝配連接提供了伸縮空間。

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