恭喜邦德泰克株式會社;須賀唯知須賀唯知獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜邦德泰克株式會社;須賀唯知申請的專利接合系統以及接合方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112640039B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201880097003.8,技術領域涉及:H01L21/02;該發明授權接合系統以及接合方法是由須賀唯知;山內朗設計研發完成,并于2018-11-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本接合系統以及接合方法在說明書摘要公布了:一種芯片接合系統,具備:活化處理裝置60,具有框保持部621和粒子束源61,該粒子束源61通過對保持于框保持部621的粘貼有芯片CP的片材TE照射粒子束而使芯片CP的接合面CPf活化;以及鍵合裝置,通過使接合面CPf已被活化處理裝置60活化的芯片CP與基板接觸而將其接合于基板。框保持部621以使保持由樹脂形成并粘貼有芯片CP的片材TE的保持框112的片材TE的粘貼有芯片CP的一面側露出于粒子束源61側的姿勢來支承保持框112。
本發明授權接合系統以及接合方法在權利要求書中公布了:1.一種接合系統,將第二被接合物接合于第一被接合物,其中,所述接合系統具備:活化處理裝置,具有:對象物支承部,支承至少包括所述第二被接合物的對象物;以及粒子束源,通過對所述對象物照射粒子束而使所述第二被接合物的接合面活化,在將所述對象物不對置配置地設置于一個處理面之后,通過粒子束源進行活化處理;以及接合裝置,通過使所述接合面已被所述活化處理裝置活化的所述第二被接合物與所述第一被接合物接觸來將所述第二被接合物接合于所述第一被接合物,所述對象物支承部以使所述對象物中的第二被接合物的包括所述接合面的由多種材料形成的部分露出于所述粒子束源側的姿勢來支承所述對象物。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人邦德泰克株式會社;須賀唯知,其通訊地址為:日本京都府京都市;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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