恭喜朗姆研究公司田思源獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利用于具有嵌入式溫度傳感器的襯底支撐件的連接器獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111919289B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980022733.6，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權用于具有嵌入式溫度傳感器的襯底支撐件的連接器是由田思源;唐納德·J·米列爾設計研發完成，并于2019-03-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于具有嵌入式溫度傳感器的襯底支撐件的連接器在說明書摘要公布了：一種用于等離子體系統的襯底支撐件包含第一層，其由陶瓷制造，并且具有第一表面以及與所述第一表面相反的第二表面。所述第一層被設置成在處理期間將襯底支撐于所述第一表面上。熱加熱元件被嵌入所述陶瓷內。溫度傳感器被嵌入所述陶瓷內。導電墊片經由嵌入所述陶瓷內的第一導線與所述溫度傳感器電連接，并且形成在所述第一層的所述第二表面上。第二層包含通孔，所述通孔穿過所述第二層。連接器延伸穿過所述通孔，并且包含保持器以及電導體，電導體被所述保持器所保持，并且包含：第一端，其分別與所述導電墊片電連接；以及第二端，其經由導線與溫度控制器電連接。
本發明授權用于具有嵌入式溫度傳感器的襯底支撐件的連接器在權利要求書中公布了：1.一種用于等離子體系統的襯底支撐件，所述襯底支撐件包含：第一層，其由陶瓷制造，并且具有第一表面以及與所述第一表面相反的第二表面，所述第一層被設置成在處理期間將襯底支撐于所述第一表面上；熱加熱元件，其被嵌入所述陶瓷內；溫度傳感器，其被嵌入所述陶瓷內；導電墊片，其：經由嵌入所述陶瓷內的第一導線與所述溫度傳感器電連接，并且形成在所述第一層的所述第二表面上；以及第二層，其包含通孔，所述通孔穿過所述第二層；連接器，其延伸穿過所述通孔，并且包含：保持器，其包括不止一個盤；以及電導體，其延伸穿過所述不止一個盤，被所述保持器的所述不止一個盤所保持，并且包含：第一端，其分別與所述導電墊片電連接；以及第二端，其經由導線與溫度控制器電連接。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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