恭喜聯達科技設備私人有限公司韓津豐獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜聯達科技設備私人有限公司申請的專利元件處理器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114467172B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201980100892.3,技術領域涉及:H01L21/677;該發明授權元件處理器是由韓津豐設計研發完成,并于2019-11-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本元件處理器在說明書摘要公布了:本公開涉及一種用于處理元件102的系統100。該系統100包括轉塔組件200,該轉塔組件200包括可繞水平軸204旋轉的轉塔202;以及圍繞轉塔202并自水平軸204徑向對齊的多個端部執行器206。該系統100還包括支撐組件300,其布置成支撐包括經分割元件102的源襯底302;以及元件傳送組件400,其布置成支撐用于接收來自端部執行器206的經分割元件102的元件傳送介質402。所述轉塔組件200,支撐組件300和元件傳送組件400彼此垂直布置。在轉塔202的旋轉過程中,端部執行器206不斷從源襯底302拾取經分割元件102并將拾取的經分割元件102放置在元件傳送介質402上。
本發明授權元件處理器在權利要求書中公布了:1.一種用于處理組件的系統,所述系統包括:轉塔組件,包括:可繞水平軸旋轉的轉塔;和附接到轉塔并圍繞轉塔外圍布置的多個端部執行器,所述端部執行器自水平軸徑向對齊;支撐組件,其布置成將源襯底移動到取回位置,所述支撐組件布置在轉塔組件下方,使得多個端部執行器中的一個在豎直向下方向位于所述源襯底的X-Y-θ坐標位置中元件的上方,用于從所述源襯底取回元件;元件傳送組件,其布置成將元件傳送介質參考源襯底上元件的數字地圖位置移動到元件釋放位置,所述元件釋放位置對應于用于從所述轉塔組件的端部執行器接收元件的源襯底的X-Y-θ坐標位置,所述元件傳送組件布置在轉塔組件上方,使得所述轉塔組件的多個端部執行器中的一個定位在豎直向上方向,用于直接從所述轉塔組件的端部執行器釋放元件;和圖像捕獲設備,其自水平軸徑向對齊,并且配置用于在轉塔旋轉期間捕獲由端部執行器保持的元件的圖像,其中,在將元件放置在元件轉移介質上之前,通過元件轉移組件校正或補償由圖像捕獲設備捕獲到的元件X-Y-θ坐標位置的任何偏差。
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