恭喜三星顯示有限公司高昇澈獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜三星顯示有限公司申請的專利形成圖案部的方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN111192819B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201911101731.4,技術領域涉及:H01L21/027;該發明授權形成圖案部的方法是由高昇澈;沈俊昊;吳世允設計研發完成,并于2019-11-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本形成圖案部的方法在說明書摘要公布了:提供了一種形成圖案部的方法,所述方法包括:在目標對象上形成第一膜,第一膜具有第一固化收縮率;在第一膜上形成第二膜,第二膜具有大于第一固化收縮率的第二固化收縮率;以及使第一膜和第二膜圖案化以形成圖案。
本發明授權形成圖案部的方法在權利要求書中公布了:1.一種形成圖案部的方法,所述方法包括以下步驟:在目標對象上形成犧牲層;在所述犧牲層上形成第一膜,所述第一膜具有第一固化收縮率;在所述第一膜上形成第二膜,所述第二膜具有大于所述第一固化收縮率的第二固化收縮率;使所述第一膜和所述第二膜固化和圖案化以形成圖案;以及使所述犧牲層圖案化以形成犧牲圖案,其中,所述圖案的一部分不被所述犧牲圖案支撐,并且其中,所述第一固化收縮率和所述第二固化收縮率指固化反應期間的體積收縮率。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人三星顯示有限公司,其通訊地址為:韓國京畿道龍仁市;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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