恭喜朗姆研究公司尼克·雷·小萊恩巴格獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利半導體制造應用中的摩擦攪拌焊接獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113614902B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080021384.9，技術領域涉及：H01L21/687；該發明授權半導體制造應用中的摩擦攪拌焊接是由尼克·雷·小萊恩巴格;普拉哈拉德·納拉辛格達斯·阿加瓦爾;拉維庫瑪·薩達希夫·帕蒂爾;達莫達爾·拉賈拉姆·尚巴格設計研發完成，并于2020-03-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本半導體制造應用中的摩擦攪拌焊接在說明書摘要公布了：在一示例中，提供了一種用于襯底處理室的噴頭基座組件。該噴頭基座組件包括面板。平臺被設置在該面板內，并且包括延伸通過該面板內至少一個溝槽的加熱器元件。該至少一個溝槽的輪廓被設置成接納該加熱器元件的至少一部分。通過摩擦攪拌焊接的接合部將平臺的周緣接合至面板的內表面上。
本發明授權半導體制造應用中的摩擦攪拌焊接在權利要求書中公布了：1.一種用于襯底處理室的噴頭基座組件，所述噴頭基座組件包括：面板；以及平臺，其與所述面板連接，所述平臺包括至少一個溝槽、至少部分設置在所述至少一個溝槽中的加熱器元件，以及填充蓋，所述填充蓋還至少部分設置在所述至少一個溝槽內以將所述加熱器元件緊固在所述至少一個溝槽內，其中所述至少一個溝槽的輪廓被設計成接納所述加熱器元件的至少一部分，并且所述填充蓋通過摩擦攪拌焊接的接合部而緊固到所述平臺，并且其中所述填充蓋包括從所述平臺突出的至少一個擋板。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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