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龍圖騰網(wǎng)恭喜杰宜斯科技有限公司申請(qǐng)的專利利用蝕刻腔室的蝕刻裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113574644B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202080016482.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)利用蝕刻腔室的蝕刻裝置是由李昇勛;牟圣元;李羊浩;裵禎賢;樸成煥;趙顯東設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-04-22向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本利用蝕刻腔室的蝕刻裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及利用蝕刻腔室的蝕刻裝置，其包括：蝕刻液存儲(chǔ)腔室，該蝕刻液存儲(chǔ)腔室存儲(chǔ)蝕刻液；連接部，該連接部與蝕刻液存儲(chǔ)腔室連通；蝕刻腔室，該蝕刻腔室通過該連接部而與蝕刻液存儲(chǔ)腔室連通以蝕刻目標(biāo)物；及加壓維持部，該加壓維持部使蝕刻液存儲(chǔ)腔室與蝕刻腔室中的至少一個(gè)維持在加壓氣氛。

本發(fā)明授權(quán)利用蝕刻腔室的蝕刻裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種利用蝕刻腔室的蝕刻裝置，其包括：一蝕刻液存儲(chǔ)腔室，該蝕刻液存儲(chǔ)腔室存儲(chǔ)一蝕刻液；一連接部，該連接部與該蝕刻液存儲(chǔ)腔室連通；一蝕刻腔室，該蝕刻腔室通過該連接部而與該蝕刻液存儲(chǔ)腔室連通以蝕刻一目標(biāo)物；及一加壓維持部，該加壓維持部使該蝕刻液存儲(chǔ)腔室與該蝕刻腔室維持在加壓氣氛；該加壓維持部是具備調(diào)節(jié)該蝕刻液存儲(chǔ)腔室的壓力的一第一加壓維持部及調(diào)節(jié)該蝕刻腔室的壓力的一第二加壓維持部。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人杰宜斯科技有限公司，其通訊地址為：韓國(guó)京畿道；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。