恭喜江陰長電先進封裝有限公司陳海杰獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜江陰長電先進封裝有限公司申請的專利一種晶圓級層壓塑封圓片的裁切成型方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112908871B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110375994.5,技術領域涉及:H01L21/56;該發明授權一種晶圓級層壓塑封圓片的裁切成型方法是由陳海杰;徐立;潘浩;朱友義;陳棟;陳錦輝設計研發完成,并于2021-04-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓級層壓塑封圓片的裁切成型方法在說明書摘要公布了:本發明涉及一種晶圓級層壓塑封圓片的裁切成型方法,屬于半導體封裝的治具技術領域。其裁切平臺包括裁切刀組(50)、底盤(70)、旋轉電機(80)和膜屑抽吸系統(90),底盤(70)通過真空吸住塑封圓片(20),其裁切刀組(50)的裁刀Ⅰ(51)、裁刀Ⅱ(52)、裁刀Ⅲ(53)、裁刀Ⅳ(54)和銼刀(58)對塑封圓片(20)依次作業,完成對塑封圓片(20)的邊緣修整及其對位缺口(13)的修整。本發明對完成層壓工藝的塑封圓片的邊緣進行修整和約束,形成標準圓片的形貌。
本發明授權一種晶圓級層壓塑封圓片的裁切成型方法在權利要求書中公布了:1.一種晶圓級層壓塑封圓片的裁切成型方法,其工藝步驟如下:步驟一:準備已經通過倒裝工藝完成扇出封裝的圓片10,所述圓片10設有對位缺口13,所述對位缺口13呈V槽,V槽的角度A不大于2°;步驟二:對圓片10表面進行預處理,這些預處理方式包括等離子清洗、烘烤或者水洗;步驟三:選擇合適厚度的層狀塑封料膜30,進行裁剪,形成與圓片10等大的圓形,與圓片10的正面進行貼合,形成塑封圓片20;步驟四:通過層壓設備,在密閉空間內,設定合適的溫度,用氣囊和或金屬板對塑封圓片20進行平整化處理,其塑封料膜30的塑封料溢出塑封圓片20的邊緣;步驟五:準備裁切平臺,將塑封圓片20通過裁切平臺的底盤70通過真空吸住,其裁切刀組50的裁刀Ⅰ51、裁刀Ⅱ52、裁刀Ⅲ53、裁刀Ⅳ54處于初始狀態,銼刀58的位置對準計劃修整的塑封圓片20的對位缺口13的中心線;步驟六:所述裁刀Ⅰ51、裁刀Ⅱ52、裁刀Ⅲ53、裁刀Ⅳ54和銼刀58依次作業:裁刀Ⅰ51和裁刀Ⅳ54對塑封圓片20進行邊緣修整,裁刀Ⅱ52和裁刀Ⅲ53對塑封圓片20的對位缺口13進行邊緣修整,銼刀58對塑封圓片20的對位缺口13進行修整;所述裁刀Ⅰ51、裁刀Ⅱ52、裁刀Ⅲ53和裁刀Ⅳ54的刀尖依次沿著圓片10邊緣的切線方向行進;步驟七:將裁切完成的塑封圓片20從裁切平臺取下并傳輸到下一個工藝站點。
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