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龍圖騰網(wǎng)恭喜ASMIP私人控股有限公司申請(qǐng)的專利旋轉(zhuǎn)襯底支撐件獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113755824B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110612556.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/458；該發(fā)明授權(quán)旋轉(zhuǎn)襯底支撐件是由森幸博設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-06-02向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本旋轉(zhuǎn)襯底支撐件在說明書摘要公布了：一種用于處理襯底的設(shè)備可以包括：反應(yīng)室；襯底支撐件，其設(shè)置在反應(yīng)室內(nèi)并設(shè)置有支撐表面以支撐襯底；以及提供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的馬達(dá)，其中馬達(dá)被控制和配置成在反應(yīng)室和襯底支撐件之間圍繞垂直于支撐表面的軸線產(chǎn)生雙向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

本發(fā)明授權(quán)旋轉(zhuǎn)襯底支撐件在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于處理襯底的設(shè)備，包括：反應(yīng)室；襯底支撐件，其設(shè)置在反應(yīng)室內(nèi)并設(shè)置有支撐表面以支撐襯底；以及提供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的馬達(dá)，其中馬達(dá)被控制和配置成在反應(yīng)室和襯底支撐件之間圍繞垂直于支撐表面的軸線產(chǎn)生雙向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，其中所述襯底支撐件設(shè)置有電氣裝置，并且該電氣裝置通過線連接到所述設(shè)備中的站，所述線包括卷曲繩，并且被構(gòu)造和布置成允許在所述反應(yīng)室和襯底支撐件之間旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)n次左右，其中n=1、2、3…。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人ASMIP私人控股有限公司，其通訊地址為：荷蘭阿爾梅勒；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。