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龍圖騰網(wǎng)恭喜上海交通大學(xué)申請的專利金剛石自支撐膜微觀懸臂梁彎曲斷裂力學(xué)性能的測試方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114965054B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210540933.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N3/08；該發(fā)明授權(quán)金剛石自支撐膜微觀懸臂梁彎曲斷裂力學(xué)性能的測試方法是由宋鑫;孫方宏設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-05-17向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本金剛石自支撐膜微觀懸臂梁彎曲斷裂力學(xué)性能的測試方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種金剛石自支撐膜微觀懸臂梁彎曲斷裂力學(xué)性能的測試裝置及方法，包括：單晶硅基體表面沉積金剛石膜、化學(xué)腐蝕硅基體得到自支撐化的金剛石膜、激光切割得到懸臂梁結(jié)構(gòu)。在測試過程中，首先將被測懸臂梁樣品固定在位移平臺上，在顯微鏡的觀察下調(diào)節(jié)三坐標(biāo)位移平臺，使壓頭對準(zhǔn)微懸臂梁的自由端，通過控制壓電陶瓷促動器驅(qū)動壓頭勻速加載直至懸臂梁彎曲斷裂，對加載過程中的實(shí)時(shí)位移和接觸載荷數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄，獲得位移?載荷曲線。本發(fā)明解決了厚度較小的化學(xué)氣相沉積金剛石膜斷裂力學(xué)性質(zhì)的測試難題，通過獲得金剛石膜的楊氏模量、斷裂強(qiáng)度和斷裂韌性等力學(xué)性質(zhì)參數(shù)，進(jìn)而改善金剛石膜的沉積工藝，提升其斷裂強(qiáng)度和韌性。

本發(fā)明授權(quán)金剛石自支撐膜微觀懸臂梁彎曲斷裂力學(xué)性能的測試方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種金剛石自支撐膜微觀懸臂梁彎曲斷裂力學(xué)性能的測試方法，其特征在于，包括如下步驟：試樣獲取步驟：經(jīng)金剛石膜沉積、化學(xué)腐蝕硅基體、激光切割工序得到待測試的金剛石膜微懸臂梁試樣；調(diào)節(jié)對準(zhǔn)步驟：將待測試的金剛石膜微懸臂梁試樣粘貼在夾具上，夾具固定在三坐標(biāo)位移平臺上，調(diào)節(jié)三坐標(biāo)位移平臺，使壓頭對準(zhǔn)微懸臂梁試樣的自由端；設(shè)備安裝步驟：壓頭、接觸載荷測量儀以及壓電陶瓷促動器依次連接，通過控制壓電陶瓷促動器的位移來驅(qū)動壓頭運(yùn)動，進(jìn)行金剛石膜斷裂力學(xué)性能測試；性能測試步驟：通過軟件采集壓電陶瓷促動器的位移量和接觸載荷大小，得到位移-載荷曲線，根據(jù)系統(tǒng)剛性校準(zhǔn)結(jié)果，計(jì)算金剛石膜微懸臂梁試樣的真實(shí)撓度以及金剛石膜的楊氏模量、斷裂強(qiáng)度和斷裂韌性；試樣獲取步驟中，激光切割得到的微觀懸臂梁包括無切口微觀懸臂梁和單邊切口微觀懸臂梁，其中無切口微觀懸臂梁用于楊氏模量和斷裂強(qiáng)度的測量，單邊切口微觀懸臂梁用于斷裂韌性的測量；設(shè)備安裝步驟中：系統(tǒng)剛性的校準(zhǔn)過程為，將壓頭對準(zhǔn)底部有支撐的金剛石膜部分，驅(qū)動壓頭運(yùn)動，記錄載荷-位移曲線，得到指定載荷下的測試系統(tǒng)屈服量，懸臂梁彎曲斷裂過程中的壓頭位移減去當(dāng)前載荷下的系統(tǒng)屈服量為懸臂梁的真實(shí)撓度。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人上海交通大學(xué)，其通訊地址為：200240 上海市閔行區(qū)東川路800號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。