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恭喜浙江景昇薄膜科技有限公司姚力軍獲國家專利權(quán)

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龍圖騰網(wǎng)恭喜浙江景昇薄膜科技有限公司申請的專利一種氧化鎳薄膜的改性處理方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN116426894B

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202310435297.3,技術(shù)領(lǐng)域涉及:C23C14/58;該發(fā)明授權(quán)一種氧化鎳薄膜的改性處理方法是由姚力軍;潘杰;姚舜;王予叢;沈棟棟;范昕設(shè)計研發(fā)完成,并于2023-04-21向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

一種氧化鎳薄膜的改性處理方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明涉及一種氧化鎳薄膜的改性處理方法,所述改性處理方法包括如下步驟:將氧化鎳薄膜依次進行升溫處理與后退火處理,隨爐冷卻至室溫,得到改性氧化鎳薄膜;所述升溫處理包括依次進行的第一升溫段與第二升溫段。本發(fā)明將氧化鎳薄膜進行兩段升溫處理與后退火處理,使得氧化鎳薄膜高溫后退火重結(jié)晶,從而改善其結(jié)晶性和致密性,進一步提高了其耐腐蝕性能。

本發(fā)明授權(quán)一種氧化鎳薄膜的改性處理方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種氧化鎳薄膜的改性處理方法,其特征在于,所述改性處理方法包括如下步驟:將磁控濺射處理得到的氧化鎳薄膜置于方舟中,然后在馬弗爐中依次進行升溫處理、在空氣氣氛中后退火處理9h,隨爐冷卻至室溫,得到晶粒尺寸為50nm的多晶改性氧化鎳薄膜;所述升溫處理包括依次進行的第一升溫段與第二升溫段;所述第一升溫段為以7℃min的升溫速率由室溫升溫至350℃;所述第二升溫段為以15℃min的升溫速率由350℃升溫至900℃。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人浙江景昇薄膜科技有限公司,其通訊地址為:315413 浙江省寧波市余姚市三七市鎮(zhèn)云山中路28號(余姚人才創(chuàng)業(yè)園內(nèi));或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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