買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網恭喜揚州韓思半導體科技有限公司申請的專利一種精確控溫半導體晶圓退火爐獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN117448968B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202311421128.0，技術領域涉及：C30B33/02；該發明授權一種精確控溫半導體晶圓退火爐是由楊志勇;單慶喜;王恒設計研發完成，并于2023-10-27向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種精確控溫半導體晶圓退火爐在說明書摘要公布了：本申請公開了一種精確控溫半導體晶圓退火爐，包括爐體以及與爐體鉸接的爐門，所述爐體內安裝有石英腔室、加熱單元、晶圓載臺和供氣單元，所述爐門處安裝有溫度檢測裝置。本申請的退火爐，具有高溫計，高溫計可以在晶圓退火過程中檢測爐體內部的溫度，每個加熱燈能夠單獨調節，從而可以對內部加熱溫度均勻性實現更好的控制，溫度檢測裝置采用熱電偶的方式測溫，溫度檢測更加準確，既可以校準加熱燈，對加熱燈進行調節，也可以用于校準高溫計，溫度檢測裝置具有兩種工作狀態，第一狀態可以作為輔助溫控，第二狀態為通過多個溫度傳感器有效的監測整個退火過程的溫度，從而更好地在需要的情況下實現對加熱燈功率的調節。

本發明授權一種精確控溫半導體晶圓退火爐在權利要求書中公布了：1.一種精確控溫半導體晶圓退火爐，其特征在于，包括爐體以及與爐體鉸接的爐門，所述爐體內安裝有石英腔室、加熱單元、晶圓載臺和供氣單元，所述爐門處安裝有溫度檢測裝置；所述加熱單元為加熱燈盤；所述晶圓載臺下方還安裝有多個高溫計；所述加熱燈盤具有多個加熱燈，每個加熱燈均能夠獨立控制功率；所述溫度檢測裝置包括第一活動單元、第二活動單元、安裝于爐門處的兩個滑軌以及安裝于爐門處的兩個限位塊；所述第一活動單元包括條形滑塊以及與條形滑塊鉸接的轉動座，所述條形滑塊處具有兩個與所述滑軌配合的第一滑槽，所述條形滑塊的兩端均固定有凸板，所述凸板處具有將條形滑塊和爐門的相對位置鎖死的第一鎖死螺栓，所述條形滑塊的底端固定有限位插板，所述轉動座處具有圓形安裝槽，所述圓形安裝槽內安裝有圓形的安裝座，所述安裝座處具有多個溫度傳感器，所述轉動座遠離條形滑塊的端部具有第一定位孔，所述轉動座遠離安裝座的表面具有第二定位孔；所述第二活動單元包括滑動板，所述滑動板處具有兩個能夠被限位插板插入的限位插孔，每個限位插孔處具有一個能夠被限位插板插入的限位插套，所述滑動板處具有與所述滑軌配合的第二滑槽，所述第二滑槽處具有與滑動板固定連接且被滑軌穿過的滑套，所述滑套處具有將滑套和滑軌位置鎖死的第二鎖死螺栓，所述滑動板處固定有能夠插入第一定位孔的定位單元；所述滑動板能夠抵接所述限位塊的底端；所述溫度檢測裝置能夠處于第一狀態和第二狀態，所述第一狀態中，所述轉動座與爐門平行，所述定位單元插入第一定位孔，轉動座遠離條形滑塊的端部抵接所述滑動板，所述第一鎖死螺栓和第二鎖死螺栓均鎖死；所述第二狀態中，所述滑動板抵接兩個限位塊的底端，兩個限位插板分別插入兩個限位插套，所述條形滑塊抵接所述滑動板，所述轉動座與所述爐門垂直，所述定位單元插入所述第二定位孔，所述第一鎖死螺栓和第二鎖死螺栓均鎖死。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人揚州韓思半導體科技有限公司，其通訊地址為：225000 江蘇省揚州市高新技術開發區吉利路21號2幢；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。