恭喜湖南越摩先進半導體有限公司楊康獲國家專利權
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龍圖騰網(wǎng)恭喜湖南越摩先進半導體有限公司申請的專利一種用于晶圓撕膜前光敏解uv的透光載盤獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產(chǎn)權局授予,授權公告號為:CN222838835U 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為:202420441927.8,技術領域涉及:H01L21/687;該實用新型一種用于晶圓撕膜前光敏解uv的透光載盤是由楊康設計研發(fā)完成,并于2024-03-07向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。
本一種用于晶圓撕膜前光敏解uv的透光載盤在說明書摘要公布了:本實用新型公開了一種用于晶圓撕膜前光敏解uv的透光載盤,包括能夠擱在環(huán)形載臺上的托環(huán),還包括安裝在托環(huán)上用于放置晶圓的能夠透光的托板。所述托板有徑向設置的能夠伸入手指的指槽。所述托板上有至少三列徑向排列的限位圓孔,每列限位圓孔有多個,每列限位圓孔中有一個下端能夠插入限位圓孔并能夠拔出的限位柱。其優(yōu)點在于:透光載盤經(jīng)久耐用且使用方便。
本實用新型一種用于晶圓撕膜前光敏解uv的透光載盤在權利要求書中公布了:1.一種用于晶圓撕膜前光敏解uv的透光載盤,包括能夠擱在環(huán)形載臺上的托環(huán)(1),其特征在于:還包括安裝在托環(huán)(1)上用于放置晶圓的能夠透光的托板(2);所述托板(2)有徑向設置的能夠伸入手指的指槽(201)。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢嗳?a target="_blank" rel="noopener noreferrer nofollow" >湖南越摩先進半導體有限公司,其通訊地址為:412000 湖南省株洲市石峰區(qū)云霞大道686號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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