恭喜科磊股份有限公司A·瑪納森獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜科磊股份有限公司申請的專利使用量子計算的具有動態采樣計劃、優化晶片測量路徑及優化晶片運輸的制造廠管理獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114144867B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980098179.X，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權使用量子計算的具有動態采樣計劃、優化晶片測量路徑及優化晶片運輸的制造廠管理是由A·瑪納森;T·格林茨威格;E·佩萊德;A·戈洛塔斯萬設計研發完成，并于2019-07-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本使用量子計算的具有動態采樣計劃、優化晶片測量路徑及優化晶片運輸的制造廠管理在說明書摘要公布了：本發明提供優化制造廠中的晶片運輸及計量測量的系統及方法。方法包括：導出并更新提供晶片特定測量位點及狀況的動態采樣計劃；導出對應于所述動態采樣計劃的所述晶片的計量測量的優化晶片測量路徑；管理通過所述制造廠的FOUP前開式晶片傳送盒運輸，從而將晶片運輸到測量工具，同時在將所述FOUP與所述相應晶片運輸到所述相應測量工具之前或時，將所述動態采樣計劃及所述晶片測量路徑提供到所述相應測量工具；及由所述相應測量工具根據所述經導出晶片測量路徑來實行所述相應晶片的計量及或檢驗測量。量子計算資源可用于解決對應特定優化問題，以減少所需時間、改進計算解決方案并改進制造廠合格率以及所生產晶片的準確性。
本發明授權使用量子計算的具有動態采樣計劃、優化晶片測量路徑及優化晶片運輸的制造廠管理在權利要求書中公布了：1.一種用于優化半導體制造廠fab中的晶片運輸及計量測量的系統，所述系統包括：至少一個處理器，其經配置以：導出并更新提供晶片特定測量位點及狀況的動態采樣計劃，其中所述動態采樣計劃在晶片之間不同，導出對應于經導出及經更新的相應動態采樣計劃的所述晶片的計量測量的優化晶片測量路徑，及通過所述制造廠管理前開式晶片傳送盒FOUP運輸，從而將晶片運輸到測量工具，同時在將所述FOUP與相應晶片運輸到相應測量工具之前或時，將所述優化晶片測量路徑提供到所述相應測量工具，其中所述相應測量工具是經配置以根據經導出的所述優化晶片測量路徑來實行所述相應晶片的計量及或檢驗測量的計量工具或檢驗工具，且其中所述處理器包括至少一個量子計算機。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人科磊股份有限公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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