恭喜蘇州艾科瑞思智能裝備股份有限公司請求不公布姓名獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜蘇州艾科瑞思智能裝備股份有限公司申請的專利晶圓片裝片設備獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN110648953B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201911007677.7,技術領域涉及:H01L21/67;該發明授權晶圓片裝片設備是由請求不公布姓名;請求不公布姓名設計研發完成,并于2019-10-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶圓片裝片設備在說明書摘要公布了:本發明提供一種晶圓片裝片設備,其包括:晶圓臺,其具有固定晶圓的臺面,晶圓臺沿豎直方向設置,晶圓臺設置于第一平移機構上,第一平移機構驅動晶圓臺在豎直面內進行XY運動;取晶裝置,其包括:取晶臂、樞轉機構,取晶臂由樞轉機構驅動在垂直于臺面的平面內進行90°的樞轉;裝片臺,其具有固定基板的工作面,裝片臺沿水平方向設置,裝片臺設置于第二平移機構上,第二平移機構驅動裝片臺在水平面內進行XY運動;凸輪機構,其包括凸輪,凸輪分別設置于取晶位置和裝片位置處。本發明通過將晶圓臺豎直設置,一個取晶臂即可完整取晶和裝片動作,其克服了多個臂接力取晶時帶來的誤差,同時還提高了裝片的效率,充分滿足了現代化工業生產的裝片需求。
本發明授權晶圓片裝片設備在權利要求書中公布了:1.一種晶圓片裝片設備,其特征在于,所述晶圓片裝片設備包括:晶圓臺,其具有固定晶圓的臺面,所述晶圓臺沿豎直方向設置,所述晶圓臺設置于第一平移機構上,所述第一平移機構驅動所述晶圓臺在豎直面內進行XY運動;取晶裝置,其包括:取晶臂、樞轉機構,所述取晶臂由所述樞轉機構驅動在垂直于所述臺面的平面內進行90°的樞轉;裝片臺,其具有固定基板的工作面,所述裝片臺沿水平方向設置,所述裝片臺設置于第二平移機構上,所述第二平移機構驅動所述裝片臺在水平面內進行XY運動;凸輪機構,其包括凸輪,所述凸輪分別設置于取晶位置和裝片位置處;所述第一平移機構包括:第一底座、供所述第一底座沿X方向滑動的第一導軌、設置于所述第一底座上的第二底座、供所述第二底座沿Y方向滑動的設置于所述第一底座上的第二導軌,所述第一平移機構設置于一豎直方向設置的支架上;所述第二平移機構包括:第三底座、供所述第三底座沿X方向滑動的第三導軌、設置于所述第三底座上的第四底座、供所述第四底座沿Y方向滑動的設置于所述第三底座上的第四導軌,所述第二平移機構設置于一水平方向設置的支架上。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州艾科瑞思智能裝備股份有限公司,其通訊地址為:215513 江蘇省蘇州市常熟經濟技術開發區四海路11號科創園5-102;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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