恭喜深圳市德沃先進自動化有限公司程煒獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜深圳市德沃先進自動化有限公司申請的專利引線鍵合裝置、設備和方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119252746B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-02發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411777656.4,技術領域涉及:H01L21/60;該發明授權引線鍵合裝置、設備和方法是由程煒;劉鑫設計研發完成,并于2024-12-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本引線鍵合裝置、設備和方法在說明書摘要公布了:本申請實施例涉及芯片產品加工設備領域,尤其是引線鍵合裝置、設備和方法。該引線鍵合裝置、設備包括:XY平臺單元;第一鍵合單元,安裝于所述XY平臺上,包括第一UVZ驅動組件和連接于所述第一UVZ驅動組件的第一鍵合機構;第二鍵合單元,安裝于所述XY平臺上,與所述第一鍵合單元鏡像設置,包括第二UVZ驅動組件和連接于所述第二UVZ驅動組件的第二鍵合機構。本申請實施例在同一XY平臺單元上設置兩個鍵合單元,均能夠實現一定行程范圍內的三向運動,配合XY平臺單元的運行,可以同時對兩個鍵合工位進行鍵合加工,同時該裝置結構實現了鍵合區域與鍵合精度分離設計,從而能夠實現更大區域的鍵合,鍵合區域的范圍可實現進一步的拓展。
本發明授權引線鍵合裝置、設備和方法在權利要求書中公布了:1.引線鍵合裝置,其特征在于,包括:XY平臺單元;第一鍵合單元,安裝于所述XY平臺上,包括第一UVZ驅動組件和連接于所述第一UVZ驅動組件的第一鍵合機構;第二鍵合單元,安裝于所述XY平臺上,與所述第一鍵合單元鏡像設置,包括第二UVZ驅動組件和連接于所述第二UVZ驅動組件的第二鍵合機構;XY平臺帶動第一鍵合單元和第二鍵合單元同時在X軸方向和或Y軸方向進行移動,將第一鍵合單元和第二鍵合單元移動到鍵合加工區域,再由第一鍵合單元的第一UVZ驅動組件驅動第一鍵合機構在UVZ空間直角坐標系內進行運動,完成鍵合加工;和或由第二鍵合單元的第二UVZ驅動組件驅動第二鍵合機構在UVZ空間直角坐標系內進行運動,完成鍵合加工;所述第一UVZ驅動組件和第二UVZ驅動組件分別包括:單元底座,安裝于所述XY平臺上,U軸驅動組件,包括U軸音圈電機和U軸主體,U軸音圈電機包括U軸定子和U軸動子,所述U軸定子設于所述單元底座上,所述U軸動子與所述U軸主體連接;V軸驅動組件,所述V軸驅動組件包括V軸音圈電機和V軸主體,V軸音圈電機包括V軸定子和V軸動子,所述V軸定子設于所述單元底座上,所述V軸動子與所述V軸主體連接;Z軸驅動組件,包括Z軸音圈電機和Z軸主體,所述Z軸音圈電機包括Z軸定子和Z軸動子,所述Z軸定子設置于所述單元底座上,所述Z軸動子與所述Z軸主體連接;所述U軸定子包括U軸定子磁鐵,所述U軸動子包括U軸動子線圈,所述U軸動子線圈具有V向延伸的第一直線段,所述第一直線段的長度大于所述U軸定子磁鐵的V向覆蓋長度;所述Z軸定子包括Z軸定子磁鐵,所述Z軸動子包括Z軸動子線圈,所述Z軸動子線圈具有V向延伸的第二直線段,所述第二直線段的長度大于所述Z軸定子磁鐵的V向覆蓋長度。
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