天通瑞宏科技有限公司陸斌杰獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉天通瑞宏科技有限公司申請(qǐng)的專利一種晶圓鍵合方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119601470B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510143351.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/50；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓鍵合方法是由陸斌杰;傅瀧塬;高嬌;徐曉聰;歸歡煥設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-02-10向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本一種晶圓鍵合方法在說明書摘要公布了：本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶圓鍵合方法，包括：在鍵合腔室中放置活性炭片；采用活化槍照射所述活性炭片，以使所述活性炭片表面引入活性官能團(tuán)并使活性炭片的空隙結(jié)構(gòu)改變；將所述活性炭片靜置預(yù)設(shè)時(shí)間后，從鍵合腔室中取出活性炭片；在鍵合腔室內(nèi)對(duì)第一晶圓與第二晶圓進(jìn)行鍵合，得到鍵合晶圓。本申請(qǐng)實(shí)施例能夠大幅改善鍵合腔室的清潔度，有效提升晶圓鍵合良率。
本發(fā)明授權(quán)一種晶圓鍵合方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓鍵合方法，其特征在于，包括：在鍵合腔室中放置活性炭片；具體的，在鍵合腔室的下載臺(tái)表面設(shè)置第一活性炭片；在鍵合腔室的上靜電吸盤上鋪設(shè)第二活性炭片；采用活化槍照射所述活性炭片，以使所述活性炭片表面引入活性官能團(tuán)并使活性炭片的空隙結(jié)構(gòu)改變；將所述活性炭片靜置預(yù)設(shè)時(shí)間后，從鍵合腔室中取出活性炭片；在鍵合腔室內(nèi)對(duì)第一晶圓與第二晶圓進(jìn)行鍵合，得到鍵合晶圓。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人天通瑞宏科技有限公司，其通訊地址為：314499 浙江省嘉興市海寧市海昌街道谷水路306號(hào)1幢(東)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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2、報(bào)告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報(bào)告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
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