恭喜朗姆研究公司丹尼爾·亞瑟·布朗獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利移動襯底傳送室獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111742400B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980013736.3，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權移動襯底傳送室是由丹尼爾·亞瑟·布朗;倫納德·約翰·沙普利斯;艾倫·肯特·龍尼;克里斯多夫·威廉·布克哈特設計研發完成，并于2019-02-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本移動襯底傳送室在說明書摘要公布了：一種襯底處理工具包括：多個處理模塊，其被配置為處理半導體襯底。所述多個處理模塊中的每一個被布置在所述襯底處理工具內的不同位置處。真空傳送模塊VTM包括機械手，并且被配置為在與襯底處理工具內的所述不同位置相對應的多個不同位置之間移動，以使得所述機械手能訪問所述多個處理模塊中的相應的處理模塊。
本發明授權移動襯底傳送室在權利要求書中公布了：1.一種襯底處理工具，其包括：多個處理模塊，其被配置為處理半導體襯底，其中，所述多個處理模塊中的每一個被布置在所述襯底處理工具內的不同位置處；和包括機械手的真空傳送模塊VTM，其中所述VTM是限定內部容積的腔室，機械手布置在所述VTM的所述內部容積中，并且VTM被配置為在所述內部容積內保持真空，其中，所述VTM被配置為在與襯底處理工具內的所述不同位置相對應的多個不同位置之間移動，以使得所述機械手能訪問所述多個處理模塊中的相應的處理模塊；以及其中，所述VTM被配置為相對于所述多個處理模塊在豎直方向上升高和降低。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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