恭喜中芯集成電路(寧波)有限公司上海分公司石虎獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜中芯集成電路(寧波)有限公司上海分公司申請的專利指紋識別模組及其制造方法、電子設備獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112115755B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201911013297.4,技術領域涉及:G06V40/13;該發明授權指紋識別模組及其制造方法、電子設備是由石虎;劉孟彬設計研發完成,并于2019-10-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本指紋識別模組及其制造方法、電子設備在說明書摘要公布了:一種指紋識別模組及其制造方法、電子設備,制造方法包括:提供襯底,襯底中形成有信號處理電路;在襯底上形成第一氧化層;提供承載基底;在承載基底上形成壓電換能器,壓電換能器包括第一電極、位于第一電極上的壓電層、以及位于壓電層上的第二電極;在壓電換能器上形成具有空腔的第二氧化層,空腔至少露出第二電極;通過第二氧化層和第一氧化層,采用熔融鍵合工藝實現承載基底和襯底的鍵合;去除承載基底。所述方法無需形成用于占據空腔位置的犧牲層,相應無需進行犧牲層釋放的操作,以免出現在空腔中形成犧牲層殘留物的問題,且通過熔融鍵合工藝使承載基底和襯底實現鍵合,提高了鍵合可靠性;綜上,提高了指紋識別模組的指紋識別性能。
本發明授權指紋識別模組及其制造方法、電子設備在權利要求書中公布了:1.一種指紋識別模組的制造方法,其特征在于,包括:提供襯底,所述襯底中形成有信號處理電路;在所述襯底上形成第一氧化層;提供承載基底;在所述承載基底上形成壓電換能器,所述壓電換能器包括第一電極、位于所述第一電極上的壓電層、以及位于所述壓電層上的第二電極;在所述壓電換能器上形成具有空腔的第二氧化層,所述空腔至少露出所述第二電極;通過所述第二氧化層和所述第一氧化層,采用熔融鍵合工藝實現所述承載基底和所述襯底的鍵合;去除所述承載基底;在形成所述壓電換能器的步驟中,所述壓電層還覆蓋所述第一電極的側壁;在形成所述第二氧化層之前,還包括:在所述壓電層中形成第三導電孔;在進行鍵合的步驟中,使所述第三導電孔和所述信號處理電路的相應連接端相對應;或者,在形成所述壓電換能器的步驟中,形成覆蓋所述承載基底的整層導電層,部分區域的所述導電層作為第一電極;在去除所述承載基底后,還包括:圖形化所述導電層,得到所述第一電極,所述第一電極暴露部分的所述壓電層。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人中芯集成電路(寧波)有限公司上海分公司,其通訊地址為:201203 上海市浦東新區中國(上海)自由貿易試驗區蔡倫路85弄95號1幢3樓C區309;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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