恭喜ASML荷蘭有限公司王勇新獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜ASML荷蘭有限公司申請的專利具有內置電壓生成器的MEMS圖像形成元件獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113795459B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080034482.6，技術領域涉及：B81B7/02；該發明授權具有內置電壓生成器的MEMS圖像形成元件是由王勇新;賴瑞霖;張乾設計研發完成，并于2020-03-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本具有內置電壓生成器的MEMS圖像形成元件在說明書摘要公布了：本公開描述了一種具有半導體芯片的圖像形成元件，半導體芯片具有微機電系統MEMS裝置210和電壓生成器220，每個電壓生成器被配置為：生成由MEMS裝置中的一個或多個MEMS裝置使用的電壓。浮置接地可以用于向由電壓生成器生成的電壓添加電壓。半導體芯片可以包括電連接235，其中每個電壓生成器被配置為通過電連接來向一個或多個MEMS裝置提供電壓。MEMS裝置可以在半導體芯片中限定邊界，MEMS裝置、電壓生成器和電連接位于該邊界內。每個MEMS裝置可以生成靜電場以操縱多束帶電粒子顯微鏡的電子小束。可以基于到半導體芯片中的基準位置例如，光學軸線的距離將MEMS裝置組織成組。
本發明授權具有內置電壓生成器的MEMS圖像形成元件在權利要求書中公布了：1.一種半導體芯片，包括：多個微機電系統裝置；多個電壓生成器，所述電壓生成器中的每個電壓生成器被配置為：生成由所述微機電系統裝置中的對應的一個或多個微機電系統裝置使用的電壓，其中所述電壓包括初級電壓與次級電壓的相加；以及多個電連接，所述電壓生成器中的每個電壓生成器被配置為：通過所述電連接中的一個或多個電連接，向所述一個或多個微機電系統裝置提供所述電壓，其中所述微機電系統裝置中的每個微機電系統裝置被配置為：生成電場以操縱多束帶電粒子顯微鏡中的多個電子小束中的電子小束。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人ASML荷蘭有限公司，其通訊地址為：荷蘭維德霍溫；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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