恭喜SCIVAX株式會社谷口豐獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜SCIVAX株式會社申請的專利貼合體制造方法、貼合體及微細結構形成方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114008746B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202080040772.1,技術領域涉及:H01L21/027;該發明授權貼合體制造方法、貼合體及微細結構形成方法是由谷口豐;田中覺設計研發完成,并于2020-06-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本貼合體制造方法、貼合體及微細結構形成方法在說明書摘要公布了:本發明提供一種貼合體制造方法、貼合體及微細結構形成方法,能夠形成可靠地將模具與被成形物之間的氣體去除的狀態,能夠進行壓印法中的單片處理。所述貼合體制造方法包括:密封材4配置工序,以在使模具1和被成形物2貼合時能夠包圍被成形物2的被成型面的方式將密封材4配置于模具1和被成形物2中的任一方或雙方;減壓工序,在使模具1和被成形物2分離的狀態下對模具1和被成形物2周圍的氣氛進行減壓;密封工序,使模具1和被成形物2重疊,用密封材4將模具1與被成形物2之間密封;以及第1加壓工序,在將模具1與被成形物2之間密封的狀態下通過流體進行加壓,密封材4構成為至少在密封工序中具有流動性,并且在將模具1和被成形物2進行脫模時密封材4僅粘接于模具1和被成形物2中的任一方。
本發明授權貼合體制造方法、貼合體及微細結構形成方法在權利要求書中公布了:1.一種貼合體制造方法,其用于制造模具和被成形物的貼合體,所述貼合體制造方法的特征在于,包括:密封材配置工序,以在使所述模具和所述被成形物貼合時能夠包圍所述被成形物的被成型面的方式將密封材配置于所述模具和所述被成形物中的任一方或雙方;減壓工序,在使所述模具和所述被成形物分離的狀態下對所述模具和所述被成形物周圍的氣氛進行減壓;密封工序,使所述模具和所述被成形物重疊,用所述密封材將所述模具與所述被成形物之間密封;以及第1加壓工序,在將所述模具與所述被成形物之間密封的狀態下,通過流體對該模具與被成形物進行加壓使其密接,所述密封材構成為至少在所述密封工序中具有流動性,并且在將所述模具和所述被成形物進行脫模時所述密封材僅與所述模具和所述被成形物中的任一方粘接。
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