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龍圖騰網(wǎng)恭喜佳能株式會社申請的專利驅(qū)動系統(tǒng)、光刻裝置以及物品的制造方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113541532B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202110421529.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H02P6/00；該發(fā)明授權(quán)驅(qū)動系統(tǒng)、光刻裝置以及物品的制造方法是由北直樹設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-04-20向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本驅(qū)動系統(tǒng)、光刻裝置以及物品的制造方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及驅(qū)動系統(tǒng)、光刻裝置以及物品制造方法。為了提供能夠進行精度高的驅(qū)動的驅(qū)動系統(tǒng)，在驅(qū)動系統(tǒng)中，具有：馬達，包括定子和動子；位置檢測部，檢測馬達的定子和動子的相對位置；取得部，取得與所述相對位置對應(yīng)的成為基準的磁通密度信息；測定單元，測定與所述相對位置對應(yīng)的實際的磁通密度信息；以及控制單元，將成為基準的磁通密度信息的大小與預(yù)定的設(shè)定值一致時的所述相對位置設(shè)為第1相對位置，將由測定單元測定的磁通密度信息的大小與所述預(yù)定的設(shè)定值一致時的所述相對位置設(shè)為第2相對位置，在測定的磁通密度信息變化一個周期的期間多次取得第1相對位置與第2相對位置之差，根據(jù)所述多次中的每一次的差，控制馬達的驅(qū)動。

本發(fā)明授權(quán)驅(qū)動系統(tǒng)、光刻裝置以及物品的制造方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種驅(qū)動系統(tǒng)，其特征在于，具有：馬達，包括定子和動子；位置檢測部，檢測所述定子與所述動子的相對位置；取得部，取得與所述相對位置對應(yīng)的成為基準的磁通密度信息；測定單元，測定與所述相對位置對應(yīng)的實際的磁通密度信息；以及控制單元，控制所述馬達的驅(qū)動，所述控制單元對于N_st個預(yù)定的設(shè)定值中的每個預(yù)定的設(shè)定值，在測定的所述磁通密度信息變化一個周期的期間N_sh次取得作為成為所述基準的磁通密度的大小與所述預(yù)定的設(shè)定值一致時的相對位置的第1相對位置與作為由所述測定單元測定的磁通密度的大小與所述預(yù)定的設(shè)定值一致時的相對位置的第2相對位置之差，根據(jù)關(guān)于所述N_st個預(yù)定的設(shè)定值取得的全部N_sh*N_st個所述差，控制所述馬達的驅(qū)動，其中N_st1，N_sh1。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人佳能株式會社，其通訊地址為：日本東京；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。