恭喜佳能株式會社北直樹獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜佳能株式會社申請的專利驅動系統、光刻裝置以及物品的制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113541532B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110421529.0，技術領域涉及：H02P6/00；該發明授權驅動系統、光刻裝置以及物品的制造方法是由北直樹設計研發完成，并于2021-04-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本驅動系統、光刻裝置以及物品的制造方法在說明書摘要公布了：本發明涉及驅動系統、光刻裝置以及物品制造方法。為了提供能夠進行精度高的驅動的驅動系統，在驅動系統中，具有：馬達，包括定子和動子；位置檢測部，檢測馬達的定子和動子的相對位置；取得部，取得與所述相對位置對應的成為基準的磁通密度信息；測定單元，測定與所述相對位置對應的實際的磁通密度信息；以及控制單元，將成為基準的磁通密度信息的大小與預定的設定值一致時的所述相對位置設為第1相對位置，將由測定單元測定的磁通密度信息的大小與所述預定的設定值一致時的所述相對位置設為第2相對位置，在測定的磁通密度信息變化一個周期的期間多次取得第1相對位置與第2相對位置之差，根據所述多次中的每一次的差，控制馬達的驅動。
本發明授權驅動系統、光刻裝置以及物品的制造方法在權利要求書中公布了：1.一種驅動系統，其特征在于，具有：馬達，包括定子和動子；位置檢測部，檢測所述定子與所述動子的相對位置；取得部，取得與所述相對位置對應的成為基準的磁通密度信息；測定單元，測定與所述相對位置對應的實際的磁通密度信息；以及控制單元，控制所述馬達的驅動，所述控制單元對于N_st個預定的設定值中的每個預定的設定值，在測定的所述磁通密度信息變化一個周期的期間N_sh次取得作為成為所述基準的磁通密度的大小與所述預定的設定值一致時的相對位置的第1相對位置與作為由所述測定單元測定的磁通密度的大小與所述預定的設定值一致時的相對位置的第2相對位置之差，根據關于所述N_st個預定的設定值取得的全部N_sh*N_st個所述差，控制所述馬達的驅動，其中N_st1，N_sh1。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人佳能株式會社，其通訊地址為：日本東京；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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