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龍圖騰網獲悉北京博宇半導體工藝器皿技術有限公司;博宇(天津)半導體材料有限公司;博宇(朝陽)半導體科技有限公司申請的專利一種蒸鍍裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113802095B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111163706.6，技術領域涉及：C23C14/26；該發明授權一種蒸鍍裝置是由何軍舫;王軍勇設計研發完成，并于2021-09-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種蒸鍍裝置在說明書摘要公布了：本發明提供了一種蒸鍍裝置，蒸鍍裝置包括加熱腔、加熱電極和電極連接結構。加熱腔包括加熱筒和設于所述加熱筒底部的加熱底殼；加熱電極用于為加熱腔提供熱源；電極連接結構用于將所述加熱腔和所述加熱底殼連接。本發明實施例中，加熱電極設置于加熱腔的加熱底殼上，設置于加熱底殼上不與加熱腔的外圍設備存在位置干涉，實現從蒸鍍設備的上部開口處安裝及取出，有利于加熱器的維護以及更換。

本發明授權一種蒸鍍裝置在權利要求書中公布了：1.一種蒸鍍裝置，其特征在于，包括：加熱腔20，所述加熱腔20包括加熱筒21和設于所述加熱筒21底部的加熱底殼22，所述加熱底殼22呈環形；加熱電極160，所述加熱電極160的數量為多個，多個所述加熱電極160陣列布置于所述加熱底殼22，所述加熱電極160用于為加熱腔20提供電源；電極連接結構140，用于將所述加熱腔20和所述加熱底殼22連接；加熱電極（160）配置為可形變，其與電極連接結構（140）和外接電極（65）軟連接；加熱電極（160）包括至少包括兩條電極絲，其中，各電極絲螺旋纏繞以形成麻花狀的加熱電極（160）；第一反射件（52），設置于加熱腔（20）內，第一反射件（52）形成為遮蓋加熱電極（160）與加熱腔（20）的連接處；第一反射件（52）配置為通過第二連接件（53）形成于加熱腔（20）內；其中，第一反射件（52）包括絕緣層（521）、間隔件（522）和反射層（523），間隔件（522）配置為將絕緣層（521）和反射層（523）間隔布置；反射層（523）用于阻擋加熱腔（20）內的熱量由加熱腔（20）的底部散失，絕緣層（521）用于對加熱電極（160）與加熱腔（20）的連接處進行防護；保溫筒（10）套置于加熱腔（20）外周，保溫部（40）設置于保溫筒（10）的底端；第二連接件（53）一端連接保溫部（40），第二連接件（53）的另一端連接第一反射件（52），其中，第一反射件（52）配置為通過第二連接件（53）形成于加熱腔（20）內，且第二連接件（53）形成為鏤空；水冷套（60）套設于保溫筒（10）外壁，支撐座固定件（70）用于將水冷套（60）與支撐座（50）固定連接；其中，支撐座（50）配置為通過支撐座固定件（70）與保溫部（40）間隔設置。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京博宇半導體工藝器皿技術有限公司;博宇(天津)半導體材料有限公司;博宇(朝陽)半導體科技有限公司，其通訊地址為：101101 北京市通州區張家灣鎮云杉路7號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。