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龍圖騰網(wǎng)恭喜北京博宇半導(dǎo)體工藝器皿技術(shù)有限公司;博宇(天津)半導(dǎo)體材料有限公司;博宇(朝陽)半導(dǎo)體科技有限公司申請的專利一種蒸鍍裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113802095B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202111163706.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/26；該發(fā)明授權(quán)一種蒸鍍裝置是由何軍舫;王軍勇設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-09-30向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種蒸鍍裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種蒸鍍裝置，蒸鍍裝置包括加熱腔、加熱電極和電極連接結(jié)構(gòu)。加熱腔包括加熱筒和設(shè)于所述加熱筒底部的加熱底殼；加熱電極用于為加熱腔提供熱源；電極連接結(jié)構(gòu)用于將所述加熱腔和所述加熱底殼連接。本發(fā)明實(shí)施例中，加熱電極設(shè)置于加熱腔的加熱底殼上，設(shè)置于加熱底殼上不與加熱腔的外圍設(shè)備存在位置干涉，實(shí)現(xiàn)從蒸鍍設(shè)備的上部開口處安裝及取出，有利于加熱器的維護(hù)以及更換。

本發(fā)明授權(quán)一種蒸鍍裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種蒸鍍裝置，其特征在于，包括：加熱腔20，所述加熱腔20包括加熱筒21和設(shè)于所述加熱筒21底部的加熱底殼22，所述加熱底殼22呈環(huán)形；加熱電極160，所述加熱電極160的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)所述加熱電極160陣列布置于所述加熱底殼22，所述加熱電極160用于為加熱腔20提供電源；電極連接結(jié)構(gòu)140，用于將所述加熱腔20和所述加熱底殼22連接；加熱電極（160）配置為可形變，其與電極連接結(jié)構(gòu)（140）和外接電極（65）軟連接；加熱電極（160）包括至少包括兩條電極絲，其中，各電極絲螺旋纏繞以形成麻花狀的加熱電極（160）；第一反射件（52），設(shè)置于加熱腔（20）內(nèi)，第一反射件（52）形成為遮蓋加熱電極（160）與加熱腔（20）的連接處；第一反射件（52）配置為通過第二連接件（53）形成于加熱腔（20）內(nèi)；其中，第一反射件（52）包括絕緣層（521）、間隔件（522）和反射層（523），間隔件（522）配置為將絕緣層（521）和反射層（523）間隔布置；反射層（523）用于阻擋加熱腔（20）內(nèi)的熱量由加熱腔（20）的底部散失，絕緣層（521）用于對加熱電極（160）與加熱腔（20）的連接處進(jìn)行防護(hù)；保溫筒（10）套置于加熱腔（20）外周，保溫部（40）設(shè)置于保溫筒（10）的底端；第二連接件（53）一端連接保溫部（40），第二連接件（53）的另一端連接第一反射件（52），其中，第一反射件（52）配置為通過第二連接件（53）形成于加熱腔（20）內(nèi)，且第二連接件（53）形成為鏤空；水冷套（60）套設(shè)于保溫筒（10）外壁，支撐座固定件（70）用于將水冷套（60）與支撐座（50）固定連接；其中，支撐座（50）配置為通過支撐座固定件（70）與保溫部（40）間隔設(shè)置。

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