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龍圖騰網恭喜蘇州漢天下電子有限公司申請的專利一種體聲波諧振器、制備方法以及濾波器、制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114584099B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210225168.7，技術領域涉及：H03H9/02；該發明授權一種體聲波諧振器、制備方法以及濾波器、制備方法是由王友良;楊清華設計研發完成，并于2022-03-09向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種體聲波諧振器、制備方法以及濾波器、制備方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種體聲波諧振器、制備方法以及濾波器、制備方法。該體聲波諧振器的制備方法包括：提供襯底，其中，襯底的表面或者內部設置有聲反射結構；在襯底之上依次形成下電極和壓電層；在壓電層背離下電極的表面形成掩膜層，其中，掩膜層設置有微結構窗口，微結構窗口包括凸起結構窗口；形成凸起結構膜層，其中，凸起結構膜層位于掩膜層的表面以及壓電層上凸起結構窗口內，位于壓電層上凸起結構窗口內的凸起結構膜層為凸起結構；去除掩膜層以及掩膜層表面的凸起結構膜層；形成上電極，上電極覆蓋凸起結構和壓電層。本發明實施例提供的技術方案，簡化了體聲波諧振器的制備工藝，降低了制作成本。

本發明授權一種體聲波諧振器、制備方法以及濾波器、制備方法在權利要求書中公布了：1.一種體聲波諧振器的制備方法，其特征在于，包括：提供襯底，其中，所述襯底的表面或者內部設置有聲反射結構；在所述襯底之上依次形成下電極和壓電層；在所述壓電層背離所述下電極的表面形成掩膜層，其中，所述掩膜層設置有微結構窗口，所述微結構窗口包括凸起結構窗口；形成凸起結構膜層，其中，所述凸起結構膜層位于所述掩膜層的表面以及壓電層上所述凸起結構窗口內，位于壓電層上所述凸起結構窗口內的凸起結構膜層為凸起結構；去除所述掩膜層以及所述掩膜層表面的凸起結構膜層；形成上電極，所述上電極覆蓋所述凸起結構和所述壓電層；所述微結構窗口還包括凹陷結構窗口，在所述壓電層背離所述下電極的表面形成掩膜層包括：在所述壓電層背離所述下電極的表面依次形成第一掩膜層和第二掩膜層；在所述第二掩膜層形成凸起結構窗口的第一部分；在所述第一掩膜層形成凸起結構窗口的第二部分以及凹陷結構窗口，其中，所述凸起結構窗口和所述凹陷結構窗口連通，且所述凹陷結構窗口位于所述凸起結構窗口的內側和外側；去除所述掩膜層以及所述掩膜層表面的凸起結構膜層包括：去除所述第二掩膜層以及所述第二掩膜層表面的凸起結構膜層；以所述第一掩膜層為掩膜版，在壓電層表面形成凹陷結構，其中，所述凹陷結構在所述襯底的正投影和所述凹陷結構窗口在所述襯底的正投影重合，所述凹陷結構的深度小于所述壓電層的厚度；去除所述第一掩膜層。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州漢天下電子有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市蘇州工業園區金雞湖大道99號蘇州納米城東北區39幢；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。