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恭喜中國航發(fā)北京航空材料研究院呂曉旭獲國家專利權(quán)

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龍圖騰網(wǎng)恭喜中國航發(fā)北京航空材料研究院申請的專利陶瓷纖維表面TiSiBN界面涂層的制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN117024159B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202311021476.9,技術(shù)領(lǐng)域涉及:C04B35/628;該發(fā)明授權(quán)陶瓷纖維表面TiSiBN界面涂層的制備方法是由呂曉旭;孫佳佳;焦健;劉偉;李麒設(shè)計研發(fā)完成,并于2023-08-14向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

陶瓷纖維表面TiSiBN界面涂層的制備方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種陶瓷纖維表面TiSiBN界面涂層的制備方法,包括以下步驟:將陶瓷纖維放置于馬弗爐內(nèi)去除上漿劑,并將去除上漿劑后的陶瓷纖維放入沉積爐內(nèi);開啟真空系統(tǒng)對沉積爐內(nèi)抽真空,同時向沉積爐內(nèi)通入氬氣,然后開啟加熱系統(tǒng)進(jìn)行加熱;待加熱結(jié)束后,停止通入氬氣,降低真空度;依次向沉積爐內(nèi)通入H2、NH3、BCl3和TiCl4四種反應(yīng)氣體,然后同時向沉積爐內(nèi)通入TiCl4和SiCl4兩種反應(yīng)氣體,反應(yīng)氣體在陶瓷纖維表面進(jìn)行化學(xué)氣相沉積;待化學(xué)氣相沉積結(jié)束后,依次關(guān)閉TiCl4、SiCl4、BCl3、NH3和H2的氣體通道,然后向沉積爐內(nèi)通入氬氣至常壓,關(guān)閉加熱系統(tǒng)和真空系統(tǒng),即可在陶瓷纖維表面制得TiSiBN界面涂層。本發(fā)明通過在BN中添加Ti和Si來提高界面涂層的抗氧化性和抗水氧性。

本發(fā)明授權(quán)陶瓷纖維表面TiSiBN界面涂層的制備方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種陶瓷纖維表面TiSiBN界面涂層的制備方法,按照先后順序包括以下步驟:步驟一:使用夾持工裝將陶瓷纖維夾持住,并放置于馬弗爐內(nèi)去除上漿劑;步驟二:將去除上漿劑后的陶瓷纖維和夾持工裝整體放入沉積爐的沉積室內(nèi),并開啟真空系統(tǒng)檢查沉積爐的密封性;步驟三:開啟真空系統(tǒng)對沉積爐內(nèi)抽真空,同時向沉積爐內(nèi)通入氬氣,然后開啟加熱系統(tǒng)進(jìn)行加熱,在整個加熱過程中保持抽真空和通入氬氣;步驟四:待加熱結(jié)束后,停止通入氬氣,降低真空度;步驟五:依次向沉積爐內(nèi)通入H2、NH3、BCl3和TiCl4四種反應(yīng)氣體,然后同時向沉積爐內(nèi)通入TiCl4和SiCl4兩種反應(yīng)氣體,反應(yīng)氣體在陶瓷纖維表面進(jìn)行化學(xué)氣相沉積;步驟六:待化學(xué)氣相沉積結(jié)束后,依次關(guān)閉TiCl4、SiCl4、BCl3、NH3和H2的氣體通道,然后向沉積爐內(nèi)通入氬氣至沉積爐內(nèi)的壓力為常壓,關(guān)閉加熱系統(tǒng)和真空系統(tǒng),即可在陶瓷纖維表面制得TiSiBN界面涂層;所述陶瓷纖維的類型為陶瓷纖維束絲、陶瓷纖維平紋織物、陶瓷纖維緞紋織物、陶瓷纖維2.5D織物或陶瓷纖維3D織物中的任一種;步驟一中,所述陶瓷纖維束絲、陶瓷纖維平紋織物或陶瓷纖維緞紋織物去除上漿劑的工藝為,首先將陶瓷纖維束絲、陶瓷纖維平紋織物或陶瓷纖維緞紋織物放入馬弗爐內(nèi),然后以5-10℃min的升溫速率升溫至250-400℃、保溫0.5-2h,最后隨爐冷卻至室溫;所述陶瓷纖維2.5D織物或陶瓷纖維3D織物去除上漿劑的工藝為,首先將陶瓷纖維2.5D織物或陶瓷纖維3D織物放入馬弗爐內(nèi),然后以5-10℃min的升溫速率升溫至300-400℃、保溫3-5h,最后隨爐冷卻至室溫;步驟三中,所述陶瓷纖維束絲、陶瓷纖維平紋織物或陶瓷纖維緞紋織物的加熱工藝為,以5-10℃min的升溫速率升溫至500℃、保溫10-30min,繼續(xù)以3-5℃min的升溫速率升溫至900-1300℃、保溫20-60min;所述陶瓷纖維2.5D織物或陶瓷纖維3D織物的加熱工藝為,以5-10℃min的升溫速率升溫至500℃、保溫30-60min,繼續(xù)以3-5℃min的升溫速率升溫至600-800℃、保溫40-100min;步驟五中,先向沉積爐內(nèi)通入H2,H2流量為10-100Lmin;H2通入5-10min后,繼續(xù)向沉積爐內(nèi)通入NH3,NH3流量為10-100Lmin;NH3通入5-10min后,繼續(xù)向沉積爐內(nèi)通入BCl3,BCl3流量與NH3流量的比值為1:5-10;BCl3通入2-5min后,繼續(xù)向沉積爐內(nèi)通入TiCl4,TiCl4流量與NH3流量的比值為1:3-9;TiCl4通入5-10min后,繼續(xù)向沉積爐內(nèi)通入TiCl4和SiCl4,TiCl4流量與NH3流量的比值為1:6-12,SiCl4流量與NH3流量的比值為1:6-12,此時沉積爐內(nèi)同時通入H2、NH3、BCl3、TiCl4和SiCl4五種反應(yīng)氣體,五種反應(yīng)氣體在陶瓷纖維表面進(jìn)行化學(xué)氣相沉積;步驟五中,所述陶瓷纖維束絲的沉積溫度為900-1300℃、沉積壓力為500-2000Pa、沉積時間為10-30min,所述陶瓷纖維平紋織物或陶瓷纖維緞紋織物的沉積溫度為900-1300℃、沉積壓力為500-2000Pa、沉積時間為30-90min,所述陶瓷纖維2.5D織物或陶瓷纖維3D織物的沉積溫度為600-800℃、沉積壓力為50-500Pa、沉積時間為120-600min。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人中國航發(fā)北京航空材料研究院,其通訊地址為:100095 北京市海淀區(qū)溫泉鎮(zhèn)環(huán)山村;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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