恭喜中國航發(fā)北京航空材料研究院呂曉旭獲國家專利權(quán)
買專利賣專利找龍圖騰,真高效! 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費!專利年費監(jiān)控用IP管家,真方便!
龍圖騰網(wǎng)恭喜中國航發(fā)北京航空材料研究院申請的專利陶瓷纖維表面TiSiBN界面涂層的制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN117024159B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202311021476.9,技術(shù)領(lǐng)域涉及:C04B35/628;該發(fā)明授權(quán)陶瓷纖維表面TiSiBN界面涂層的制備方法是由呂曉旭;孫佳佳;焦健;劉偉;李麒設(shè)計研發(fā)完成,并于2023-08-14向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本陶瓷纖維表面TiSiBN界面涂層的制備方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種陶瓷纖維表面TiSiBN界面涂層的制備方法,包括以下步驟:將陶瓷纖維放置于馬弗爐內(nèi)去除上漿劑,并將去除上漿劑后的陶瓷纖維放入沉積爐內(nèi);開啟真空系統(tǒng)對沉積爐內(nèi)抽真空,同時向沉積爐內(nèi)通入氬氣,然后開啟加熱系統(tǒng)進(jìn)行加熱;待加熱結(jié)束后,停止通入氬氣,降低真空度;依次向沉積爐內(nèi)通入H2、NH3、BCl3和TiCl4四種反應(yīng)氣體,然后同時向沉積爐內(nèi)通入TiCl4和SiCl4兩種反應(yīng)氣體,反應(yīng)氣體在陶瓷纖維表面進(jìn)行化學(xué)氣相沉積;待化學(xué)氣相沉積結(jié)束后,依次關(guān)閉TiCl4、SiCl4、BCl3、NH3和H2的氣體通道,然后向沉積爐內(nèi)通入氬氣至常壓,關(guān)閉加熱系統(tǒng)和真空系統(tǒng),即可在陶瓷纖維表面制得TiSiBN界面涂層。本發(fā)明通過在BN中添加Ti和Si來提高界面涂層的抗氧化性和抗水氧性。
本發(fā)明授權(quán)陶瓷纖維表面TiSiBN界面涂層的制備方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種陶瓷纖維表面TiSiBN界面涂層的制備方法,按照先后順序包括以下步驟:步驟一:使用夾持工裝將陶瓷纖維夾持住,并放置于馬弗爐內(nèi)去除上漿劑;步驟二:將去除上漿劑后的陶瓷纖維和夾持工裝整體放入沉積爐的沉積室內(nèi),并開啟真空系統(tǒng)檢查沉積爐的密封性;步驟三:開啟真空系統(tǒng)對沉積爐內(nèi)抽真空,同時向沉積爐內(nèi)通入氬氣,然后開啟加熱系統(tǒng)進(jìn)行加熱,在整個加熱過程中保持抽真空和通入氬氣;步驟四:待加熱結(jié)束后,停止通入氬氣,降低真空度;步驟五:依次向沉積爐內(nèi)通入H2、NH3、BCl3和TiCl4四種反應(yīng)氣體,然后同時向沉積爐內(nèi)通入TiCl4和SiCl4兩種反應(yīng)氣體,反應(yīng)氣體在陶瓷纖維表面進(jìn)行化學(xué)氣相沉積;步驟六:待化學(xué)氣相沉積結(jié)束后,依次關(guān)閉TiCl4、SiCl4、BCl3、NH3和H2的氣體通道,然后向沉積爐內(nèi)通入氬氣至沉積爐內(nèi)的壓力為常壓,關(guān)閉加熱系統(tǒng)和真空系統(tǒng),即可在陶瓷纖維表面制得TiSiBN界面涂層;所述陶瓷纖維的類型為陶瓷纖維束絲、陶瓷纖維平紋織物、陶瓷纖維緞紋織物、陶瓷纖維2.5D織物或陶瓷纖維3D織物中的任一種;步驟一中,所述陶瓷纖維束絲、陶瓷纖維平紋織物或陶瓷纖維緞紋織物去除上漿劑的工藝為,首先將陶瓷纖維束絲、陶瓷纖維平紋織物或陶瓷纖維緞紋織物放入馬弗爐內(nèi),然后以5-10℃min的升溫速率升溫至250-400℃、保溫0.5-2h,最后隨爐冷卻至室溫;所述陶瓷纖維2.5D織物或陶瓷纖維3D織物去除上漿劑的工藝為,首先將陶瓷纖維2.5D織物或陶瓷纖維3D織物放入馬弗爐內(nèi),然后以5-10℃min的升溫速率升溫至300-400℃、保溫3-5h,最后隨爐冷卻至室溫;步驟三中,所述陶瓷纖維束絲、陶瓷纖維平紋織物或陶瓷纖維緞紋織物的加熱工藝為,以5-10℃min的升溫速率升溫至500℃、保溫10-30min,繼續(xù)以3-5℃min的升溫速率升溫至900-1300℃、保溫20-60min;所述陶瓷纖維2.5D織物或陶瓷纖維3D織物的加熱工藝為,以5-10℃min的升溫速率升溫至500℃、保溫30-60min,繼續(xù)以3-5℃min的升溫速率升溫至600-800℃、保溫40-100min;步驟五中,先向沉積爐內(nèi)通入H2,H2流量為10-100Lmin;H2通入5-10min后,繼續(xù)向沉積爐內(nèi)通入NH3,NH3流量為10-100Lmin;NH3通入5-10min后,繼續(xù)向沉積爐內(nèi)通入BCl3,BCl3流量與NH3流量的比值為1:5-10;BCl3通入2-5min后,繼續(xù)向沉積爐內(nèi)通入TiCl4,TiCl4流量與NH3流量的比值為1:3-9;TiCl4通入5-10min后,繼續(xù)向沉積爐內(nèi)通入TiCl4和SiCl4,TiCl4流量與NH3流量的比值為1:6-12,SiCl4流量與NH3流量的比值為1:6-12,此時沉積爐內(nèi)同時通入H2、NH3、BCl3、TiCl4和SiCl4五種反應(yīng)氣體,五種反應(yīng)氣體在陶瓷纖維表面進(jìn)行化學(xué)氣相沉積;步驟五中,所述陶瓷纖維束絲的沉積溫度為900-1300℃、沉積壓力為500-2000Pa、沉積時間為10-30min,所述陶瓷纖維平紋織物或陶瓷纖維緞紋織物的沉積溫度為900-1300℃、沉積壓力為500-2000Pa、沉積時間為30-90min,所述陶瓷纖維2.5D織物或陶瓷纖維3D織物的沉積溫度為600-800℃、沉積壓力為50-500Pa、沉積時間為120-600min。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人中國航發(fā)北京航空材料研究院,其通訊地址為:100095 北京市海淀區(qū)溫泉鎮(zhèn)環(huán)山村;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息,力求客觀、公正,但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報告當(dāng)日的職業(yè)理解,僅供參考使用,不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
- 恭喜臺灣積體電路制造股份有限公司蔡俊雄獲國家專利權(quán)
- 恭喜浜松光子學(xué)株式會社丸野正獲國家專利權(quán)
- 恭喜楊斌堂獲國家專利權(quán)
- 恭喜珠海廣通汽車有限公司劉楊獲國家專利權(quán)
- 恭喜晶元光電股份有限公司葉宗勛獲國家專利權(quán)
- 恭喜4C醫(yī)學(xué)技術(shù)有限公司杰弗里·W·錢伯斯獲國家專利權(quán)
- 恭喜OPPO廣東移動通信有限公司唐海獲國家專利權(quán)
- 恭喜福特全球技術(shù)公司J·E·B·菲利普斯獲國家專利權(quán)
- 恭喜舒城歐舍麗新材料科技有限公司袁孝菊獲國家專利權(quán)
- 恭喜華為技術(shù)有限公司婁崇獲國家專利權(quán)


熱門推薦
- 恭喜北京京東尚科信息技術(shù)有限公司宋馨譽獲國家專利權(quán)
- 恭喜福特全球技術(shù)公司亞倫·馬修·德朗獲國家專利權(quán)
- 恭喜北京京東尚科信息技術(shù)有限公司張囝獲國家專利權(quán)
- 恭喜王劍獲國家專利權(quán)
- 恭喜ASM IP私人控股有限公司M·明喬夫獲國家專利權(quán)
- 恭喜朗姆研究公司馬里施·格雷戈爾獲國家專利權(quán)
- 恭喜袁開靖獲國家專利權(quán)
- 恭喜福特全球技術(shù)公司哈菲茲·謝菲克·哈法吉獲國家專利權(quán)
- 恭喜巴斯夫歐洲公司Q·M·凱因茨獲國家專利權(quán)
- 恭喜無錫天極芯科技有限公司張懷東獲國家專利權(quán)