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龍圖騰網(wǎng)恭喜中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所申請(qǐng)的專利一種半導(dǎo)體設(shè)備的基片盤(pán)傳送裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN117198958B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202311395157.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/677；該發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體設(shè)備的基片盤(pán)傳送裝置是由葉文龍;朱勇波;陳李松;張超;劉千伍;李宣倫設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-10-25向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種半導(dǎo)體設(shè)備的基片盤(pán)傳送裝置在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)一種半導(dǎo)體設(shè)備的基片盤(pán)傳送裝置，包括：推桿框、雙連桿組件、滑軌、連接鎖和驅(qū)動(dòng)組件；所述連接鎖設(shè)置在推桿框前端，連接鎖用于連接半導(dǎo)體設(shè)備腔體里的基片盤(pán)；所述雙連桿組件位于推桿框內(nèi)側(cè)，雙連桿組件的一端與驅(qū)動(dòng)組件的輸出端連接，雙連桿組件的另一端與推桿框后端連接，推桿框兩側(cè)分別與滑軌滑動(dòng)連接；在驅(qū)動(dòng)組件的驅(qū)動(dòng)下，雙連桿組件先折疊后伸展，以帶動(dòng)推桿框沿著滑軌進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)基片盤(pán)將基片送入或拉出曝光室。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)緊湊、操作簡(jiǎn)單、傳動(dòng)效率高等優(yōu)點(diǎn)，解決了現(xiàn)有基片盤(pán)傳送裝置需占用大量長(zhǎng)度空間、美觀性差的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了基片盤(pán)在狹小空間范圍的遠(yuǎn)距離傳送。

本發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體設(shè)備的基片盤(pán)傳送裝置在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種半導(dǎo)體設(shè)備的基片盤(pán)傳送裝置，其特征在于，包括：推桿框（1）、雙連桿組件、滑軌（8）、連接鎖（9）和驅(qū)動(dòng)組件；所述連接鎖（9）設(shè)置在推桿框（1）前端，連接鎖（9）用于連接半導(dǎo)體設(shè)備腔體里的基片盤(pán)；所述雙連桿組件位于推桿框（1）內(nèi)側(cè)，雙連桿組件的一端與驅(qū)動(dòng)組件的輸出端連接，雙連桿組件的另一端與推桿框（1）后端連接，推桿框（1）兩側(cè)分別與滑軌（8）滑動(dòng)連接；在驅(qū)動(dòng)組件的驅(qū)動(dòng)下，雙連桿組件先折疊后伸展，以帶動(dòng)推桿框（1）沿著滑軌（8）進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)基片盤(pán)將基片送入或拉出曝光室；所述雙連桿組件包括第一連桿（3）和第二連桿（6），所述驅(qū)動(dòng)組件包括齒輪驅(qū)動(dòng)組件和同步帶組件；所述第一連桿（3）的上端與齒輪驅(qū)動(dòng)組件鉸接，第一連桿（3）的下端與第二連桿（6）的上端鉸接，第二連桿（6）的下端與推桿框（1）后端鉸接；所述第一連桿（3）與第二連桿（6）的鉸接處通過(guò)同步帶組件與齒輪驅(qū)動(dòng)組件連接，以實(shí)現(xiàn)第一連桿（3）和第二連桿（6）進(jìn)行同步運(yùn)動(dòng)；所述齒輪驅(qū)動(dòng)組件包括齒輪組件（2）和驅(qū)動(dòng)電機(jī)（10），所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)（10）的輸出端與齒輪組件（2）連接，第一連桿（3）與第二連桿（6）的鉸接處通過(guò)同步帶組件與齒輪組件（2）連接；所述齒輪組件（2）包括第一齒輪（21）、第二齒輪（22）和第三齒輪（23），所述第二齒輪（22）和第三齒輪（23）并排設(shè)置在第一齒輪（21）內(nèi)側(cè)，第三齒輪（23）外側(cè)與第二齒輪（22）外側(cè)嚙合，第二齒輪（22）外側(cè)與第一齒輪（21）內(nèi)側(cè)嚙合，第一齒輪（21）外側(cè)與同步帶組件連接；所述第三齒輪（23）分別與第一連桿（3）的上端和驅(qū)動(dòng)電機(jī)（10）的輸出端連接，第三齒輪（23）的轉(zhuǎn)動(dòng)方向與第一齒輪（21）的轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反，以實(shí)現(xiàn)第一連桿（3）和第二連桿（6）進(jìn)行同步反向運(yùn)動(dòng)。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所，其通訊地址為：410111 湖南省長(zhǎng)沙市天心區(qū)新開(kāi)鋪路1025號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。