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龍圖騰網恭喜湘南學院申請的專利一種晶圓的混合加工路徑的調度方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN118983250B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411060500.4，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權一種晶圓的混合加工路徑的調度方法是由彭乘風;李翔;廖勇;廖芳芳;林安平;黎鵬;趙鑫設計研發完成，并于2024-08-05向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓的混合加工路徑的調度方法在說明書摘要公布了：本發明公開一種晶圓的混合加工路徑的調度方法，半導體芯片制造技術領域，包括以下步驟：構建ROPN模型；建立主機械手死鎖處理的約束條件，利用ROPN模型并根據主機械手死鎖處理的約束條件建立工藝生產區調度算法；建立取放機械手死鎖處理的約束條件，利用ROPN模型并根據取放機械手死鎖處理的約束條件建立投料策略；判斷晶圓的晶圓流類型后，利用ROPN模型并根據取放機械手死鎖處理的約束條件建立晶圓派工策略。所述晶圓的混合加工路徑的調度方法解決了現有的調度策略難以保證系統的產能以及晶圓產品的質量的問題。

本發明授權一種晶圓的混合加工路徑的調度方法在權利要求書中公布了：1.一種晶圓的混合加工路徑的調度方法，其特征在于，包括以下步驟：S0：利用檢驗臺、存儲位、旋轉臺、合并站、取放機械手R1、取放機械手R2、加工站、主機械手R3、副機械手r和清洗站構建ROPN模型；S1：建立主機械手死鎖處理的約束條件，利用ROPN模型并根據主機械手死鎖處理的約束條件建立針對主機械手的混合加工路徑的工藝生產區調度算法；S2：建立取放機械手死鎖處理的約束條件，利用ROPN模型并根據取放機械手死鎖處理的約束條件建立針對取放機械手的混合加工路徑的投料策略；S3：判斷晶圓的晶圓流類型后，利用ROPN模型并根據取放機械手死鎖處理的約束條件建立針對取放機械手的混合加工路徑的晶圓派工策略；在所述步驟S0中，利用庫所、變遷、由變遷指向庫所的有向弧、由庫所指向變遷的有向弧、庫所的令牌數量標識和庫所能容納的最大令牌數量構建ROPN模型的有向圖；其中，將檢驗臺、存儲位、旋轉臺、合并站、取放機械手R1、取放機械手R2、加工站、主機械手R3、副機械手r、清洗站和各機械手動作前的等待時間都屬于ROPN模型中的庫所P，變遷為檢驗臺、存儲位、旋轉臺、合并站、取放機械手R1、取放機械手R2、加工站、主機械手R3、副機械手r和清洗站的執行動作；加工站之間的關系劃分為緊鄰加工站Pi-1和Pi的關系和非緊鄰加工站PN+j的關系，其中i＝2，4，...，2N，N∈N*，共N臺緊鄰加工站，j＝1，2，...，D，D∈N*，共D臺非緊鄰加工站；在所述步驟S1中，主機械手死鎖處理的約束條件包括：對于非緊鄰加工站PN+j，j＝1，2，...，D，D∈N*，總數D，建立：條件1-1：在MPN+j+1＝mN+j+1-1時，變遷XN+j設置為可觸發狀態；其中M表示庫所的令牌數量標識，PN+j+1表示第N+j+1個非緊鄰加工站，mN+j+1表示第N+j+1道工序步驟的并行加工站的數量，變遷XN+j表示主機械手R3轉動到工序步驟N+j；條件1-2：在MPN+j＝mN+j且MPh＝2，MPt＝MR2＝1時，變遷XN+M設置為可觸發狀態；其中PN+j表示第N+j個非緊鄰加工站，mN+j表示第N+j道工序步驟的并行加工站的數量，Ph表示合并站，Pt表示旋轉臺，表示取放機械手R2，XN+D表示主機械手R3轉動到工序步驟N+D；對于緊鄰加工站Pi-1和Pi，i＝2，4，...，2N，N∈N*，總數為N，在非重入晶圓流下，建立：條件2-1：在2≤i≤N-2，且當MPi+1＝mi+1-1或MPi+2＝mi+2-1或Mri+1＝1時，變遷Xi設置為可觸發狀態；其中Pi+1表示第i+1個緊鄰加工站，mi+1表示第i+1道工序步驟的并行加工站的數量，mi+2表示第i+2道工序步驟的并行加工站的數量，ri+1表示第i+1個副機械手，變遷Xi表示主機械手R3轉動到工序步驟i；條件2-2：當MP1＝m1-1或MP2＝m2-1或Mr1＝1時，變遷X0設置為可觸發狀態；其中P1表示第1個緊鄰加工站，m1表示第1道工序步驟的并行加工站的數量，P2表示第2個緊鄰加工站，m2表示第2道工序步驟的并行加工站的數量，r1表示第1個副機械手，變遷X0表示主機械手R3轉動到合并站；條件2-3：當MPi＝mi時，變遷XN設置為可觸發狀態；其中Pi表示第i個緊鄰加工站，mi表示第i道工序步驟的并行加工站的數量，變遷XN表示主機械手R3轉動到工序步驟N；重入晶圓流用mi-1,mik表示，k為重入數值，且2≤i≤N-2；用Waq表示第a個進入系統的晶圓，并完成重入工序的最后一個加工步驟mi，并代表晶圓完成了q次重入，在重入晶圓流下，建立：條件2-4：在1≤qk，且當MPi-1＝mi-1-1或Mri-1＝1時，變遷tii-1以及變遷Xi均設置為可觸發狀態；其中Pi-1表示第i-1個緊鄰加工站，mi-1表示第i-1道工序步驟的并行加工站的數量，ri-1表示第i-1個副機械手，變遷tii-1表示主機械手R3從工序步驟i移動到工序步驟i-1，變遷Xi表示主機械手R3轉動到工序步驟i；條件2-5：在2≤i≤N-2，且當系統標識MPi+1＝mi+1-1或MPi+2＝mi+2-1或Mri+1＝1時，變遷ti-2i-1以及變遷Xi-2設置為可觸發狀態；其中變遷ti-2i-1表示主機械手R3從工序步驟i-2移動到工序步驟i-1，變遷Xi-2表示主機械手R3轉動到工序步驟i-2；條件2-6：當q＝k時，變遷tii+1以及變遷Xi設置為可觸發狀態；其中變遷tii+1表示主機械手R3從工序步驟i移動到工序步驟i+1，變遷Xi表示主機械手R3轉動到工序步驟i。

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