恭喜佛山大學李永寬獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜佛山大學申請的專利一種可透過紫外的鋁摻雜氧化鋅電極及其制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN118996356B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411096778.7,技術領域涉及:C23C14/35;該發明授權一種可透過紫外的鋁摻雜氧化鋅電極及其制備方法是由李永寬;王松;邱家樂設計研發完成,并于2024-08-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種可透過紫外的鋁摻雜氧化鋅電極及其制備方法在說明書摘要公布了:本發明屬于透明導電膜材料技術領域,具體涉及一種可透過紫外的鋁摻雜氧化鋅電極及其制備方法。本發明采用脈沖激光濺射沉積方法,以氧化鋁和氧化鋅為靶材,通過采用合適的工作氣壓、激光波長、脈沖能量、激光聚焦光斑面積、襯底加熱溫度等工藝制備AZO薄膜。采用本發明方法可以在玻璃襯底上獲得厚度均勻的AZO薄膜,獲得的AZO薄膜透明電極平整致密,電阻率低至2.8E?3Ω·cm,對可見光波段400?760nm的平均透過率高達90%,對近紫外UVA波段320?400nm的透過率高達85%,可滿足前沿藍光?紫外發光二極管、藍光?紫外光電探測器、高性能太陽能電池等對可透過紫外電極薄膜的要求。
本發明授權一種可透過紫外的鋁摻雜氧化鋅電極及其制備方法在權利要求書中公布了:1.一種可透過紫外的鋁摻雜氧化鋅電極的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:S1、采用氧化鋁和氧化鋅為靶材,并將靶材放入濺射室中;S2、將襯底放入濺射室中,調節襯底與靶材的間距后,抽真空使濺射室氣壓至5E-5Pa以下;S3、將襯底加熱至300℃以上,并調節脈沖激光器的激光脈寬為10-30ns,波長為200-300nm,能量密度為5-17Jcm2,能量為100-300mJ,頻率為3-20Hz;之后將激光聚焦為不大于2mm2的光斑輻照濺射室中的靶材,濺射10-40min,則在基底上獲得可透過紫外的鋁摻雜氧化鋅AZO電極。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人佛山大學,其通訊地址為:528225 廣東省佛山市南海區獅山鎮廣云路33號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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