恭喜蘇州芯輪半導體科技有限公司張磊獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜蘇州芯輪半導體科技有限公司申請的專利一種堆疊形式的晶圓加熱裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN222775284U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422059549.X，技術領域涉及：H01L21/67；該實用新型一種堆疊形式的晶圓加熱裝置是由張磊;朱偉明設計研發完成，并于2024-08-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種堆疊形式的晶圓加熱裝置在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種堆疊形式的晶圓加熱裝置，包括兩個平行設置的豎板，兩個豎板之間設置有多個支撐橫板，每個所述支撐橫板上均設置有加熱板，所述加熱板與支撐橫板之間設置有支撐柱并形成動作空間，動作空間對應的兩個豎板上均設置有避讓口，在動作空間內設置有兩個水平布置的升降臂，兩個升降臂對稱設置且一端穿過相鄰的避讓口并與升降氣缸連接，所述升降氣缸固定在豎板的外表面上，所述升降臂另一端上設置有若干頂針，所述頂針對應的加熱板上設置有導向過孔，所述頂針一端設置在導向過孔內并沿導向方向移動伸出至加熱板上表面。本實用新型能夠充分利用點膠設備中的縱向空間，減少水平空間的使用。
本實用新型一種堆疊形式的晶圓加熱裝置在權利要求書中公布了：1.一種堆疊形式的晶圓加熱裝置，其特征在于，包括兩個平行設置的豎板，兩個豎板之間設置有多個支撐橫板，每個所述支撐橫板上均設置有加熱板，所述加熱板內設置有加熱組件，所述加熱板與支撐橫板之間設置有支撐柱并形成動作空間，動作空間對應的兩個豎板上均設置有避讓口，在動作空間內設置有兩個水平布置的升降臂，兩個升降臂對稱設置且一端穿過相鄰的避讓口并與升降氣缸連接，所述升降氣缸固定在豎板的外表面上，所述升降臂另一端上設置有若干頂針，所述頂針對應的加熱板上設置有導向過孔，所述頂針一端設置在導向過孔內并沿導向方向移動伸出至加熱板上表面。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州芯輪半導體科技有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市吳中經濟開發區吳中大道1183號30幢1樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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