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龍圖騰網恭喜中國科學院上海微系統與信息技術研究所申請的專利一種球形玻璃結構的制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119191686B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411307983.3，技術領域涉及：C03B23/00；該發明授權一種球形玻璃結構的制備方法是由武震宇;謝珂;蘇泳全;王櫟皓;劉藝晨設計研發完成，并于2024-09-19向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種球形玻璃結構的制備方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種球形玻璃結構的制備方法，通過在淺凹槽中添加呈片狀的固體釋氣劑薄片，利用該固體釋氣劑薄片在升溫時釋放出的氣體驅動玻璃片熱成型，形成了晶圓級的球形玻璃結構。該方法工藝流程簡單，操作便捷，可精確定量，確保了球形玻璃結構的一致性，特別適合于大規模工業化生產。同時，本發明不僅可以精確控制固體釋氣劑薄片的質量，靈活調整其中釋氣劑粉末的含量，制備出所需尺寸的球形玻璃結構，而且能夠獲得與原始拋光的玻璃片相近或者更低粗糙度的球形玻璃結構。此外，本發明的球形玻璃結構的制備方法具有生產成本低，可靠性高，環境污染小等優點，符合當前大規模生產對于高效、低耗、環保的嚴格要求，以及超凈室的高清潔度標準。

本發明授權一種球形玻璃結構的制備方法在權利要求書中公布了：1.一種球形玻璃結構的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：提供一襯底，形成凹槽陣列于所述襯底中，所述凹槽陣列包括多個間隔設置的凹槽，所述凹槽自所述襯底的頂面開口并向下延伸預設深度；將固體釋氣劑薄片放置于每一所述凹槽中，所述固體釋氣劑薄片的形成包括以下步驟：將釋氣劑粉末與粘性溶液混合，以得到混合物漿料；將所述混合物漿料布施于基材表面，以形成具有預設厚度的涂層；對所述涂層進行干燥處理；切割所述涂層，以得到具有預設尺寸的所述固體釋氣劑薄片；提供一玻璃片，將所述襯底與所述玻璃片在真空條件下鍵合，以實現所述凹槽陣列的密封；將鍵合后的所述襯底加熱至大于或等于所述玻璃片的軟化點溫度，并保溫一定時間，待所述固體釋氣劑薄片因受熱分解產生的氣體將軟化的所述玻璃片對應所述凹槽的部分熱成型成球形結構，再冷卻至室溫，并進行退火處理；去除所述襯底，以得到所需的球形玻璃結構。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院上海微系統與信息技術研究所，其通訊地址為：200050 上海市長寧區長寧路865號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。