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龍圖騰網(wǎng)恭喜浙江華辰芯光技術(shù)有限公司申請的專利一種高可靠性低噪聲垂直激光器的制備方法及結(jié)構(gòu)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119231308B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-18發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411736656.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01S5/028；該發(fā)明授權(quán)一種高可靠性低噪聲垂直激光器的制備方法及結(jié)構(gòu)是由楊惠婷;李明欣;向磊設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-11-29向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種高可靠性低噪聲垂直激光器的制備方法及結(jié)構(gòu)在說明書摘要公布了：本申請涉及半導體激光器的技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種高可靠性低噪聲垂直激光器的制備方法及結(jié)構(gòu)，選用晶格方向為[100]2?15°偏[110]的襯底；在襯底的層結(jié)構(gòu)上刻蝕兩個弧形溝槽，兩個弧形溝槽的端部之間形成開口，且開口方向沿晶向[001]；對氧化限制層進行氧化，兩個弧形溝槽中間形成類圓形的氧化孔；將鈍化保護膜覆蓋在開口處及器件表面；填充開口，通過開口位置連接金屬圓環(huán)，將P極電流注入點引至外圍區(qū)域；將發(fā)光區(qū)頂部的表面鈍化層刻蝕出短、長軸比為1:1?1:2的橢圓浮雕。開口設(shè)計朝向[001]晶格方向，器件最終氧化形狀為類圓形，提高可靠性。將表面鈍化膜刻蝕出橢圓浮雕,降低相對強度噪聲，有效提高傳輸質(zhì)量。

本發(fā)明授權(quán)一種高可靠性低噪聲垂直激光器的制備方法及結(jié)構(gòu)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種高可靠性低噪聲垂直激光器的制備方法，其特征在于：包括，S1、選用晶格方向為[100]2-15°偏[110]的襯底（1）；S2、在襯底（1）的層結(jié)構(gòu)上刻蝕有兩個正對的弧形溝槽（14），兩個弧形溝槽（14）的端部之間形成有兩個開口（15），且兩個開口（15）方向沿晶向[001]；S3、對層結(jié)構(gòu)內(nèi)的氧化限制層（7）進行氧化，弧形溝槽（14）內(nèi)暴露的高Al層發(fā)生反應，使得兩個弧形溝槽（14）中間形成類圓形的氧化孔（16）；S4、將鈍化保護膜覆蓋在開口處及器件表面形成表面鈍化層（11）；S5、填充開口（15）形成介質(zhì)填充層（10），同時通過開口（15）位置連接金屬圓環(huán)，將P極電流注入點引至外圍區(qū)域形成P面歐姆接觸層（12）；S6、將發(fā)光區(qū)頂部的表面鈍化層（11）刻蝕出短、長軸比為1:1-1:2的橢圓浮雕形成偏振控制層（13）。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人浙江華辰芯光技術(shù)有限公司，其通訊地址為：214000 江蘇省無錫市新吳區(qū)震澤路18-3號射手座A座5樓502室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。