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龍圖騰網恭喜同濟大學申請的專利一種高耐刻蝕性釔鎂復相透明陶瓷及其制備方法和應用獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119390427B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510014128.1，技術領域涉及：C04B35/04；該發明授權一種高耐刻蝕性釔鎂復相透明陶瓷及其制備方法和應用是由姜本學;馬玄哲;宋一平;劉華;黃世明設計研發完成，并于2025-01-06向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種高耐刻蝕性釔鎂復相透明陶瓷及其制備方法和應用在說明書摘要公布了：本發明涉及一種高耐刻蝕性釔鎂復相透明陶瓷及其制備方法和應用，所述制備方法包括如下步驟：將氧化鎂和氧化釔按照預定比例混合得到基材，加入含釔的氟化物作為燒結助劑，所述含釔的氟化物的添加質量為基材的質量的1~10%，形成復相陶瓷坯體；將復相陶瓷坯體在惰性無氧氣氛中燒結，得到所述高耐刻蝕性釔鎂復相透明陶瓷；所述高耐刻蝕性釔鎂復相透明陶瓷的刻蝕深度為300~500nmh。與現有技術相比，采用含釔的氟化物作為燒結助劑，在陶瓷表面形成穩定的保護性氟化層，提高陶瓷的耐刻蝕性，同時避免刻蝕環境下分解并引入雜質的風險，所述高耐刻蝕性釔鎂復相透明陶瓷特別適用于半導體制造中的刻蝕設備。

本發明授權一種高耐刻蝕性釔鎂復相透明陶瓷及其制備方法和應用在權利要求書中公布了：1.一種高耐刻蝕性釔鎂復相透明陶瓷的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括如下步驟：a將氧化鎂和氧化釔按照預定比例混合得到基材，加入氟化釔和或氟氧化釔作為燒結助劑，所述氟化釔和或氟氧化釔的添加質量為基材的質量的1~10%，形成復相陶瓷坯體；b將復相陶瓷坯體在惰性氣體氣氛或氮氣氣氛中燒結，燒結溫度控制在1400℃至1700℃之間，保溫時間為1至4小時，得到所述高耐刻蝕性釔鎂復相透明陶瓷；所述高耐刻蝕性釔鎂復相透明陶瓷的刻蝕深度為300~500nmh；所述氧化鎂、氧化釔的摩爾比為4：1；所述氟化釔和或氟氧化釔的添加質量為基材的質量的5%；所述刻蝕深度檢測條件包括：采用等離子刻蝕機，刻蝕環境為等離子體氣氛SF6ArO2，550WRF源功率，100W偏置功率，11mTorr壓力；刻蝕時間120min。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人同濟大學，其通訊地址為：200092 上海市楊浦區四平路1239號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。