恭喜索泰克公司;法國原子能和替代能源委員會V·拉里獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜索泰克公司;法國原子能和替代能源委員會申請的專利基材親水性結(jié)合的方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN114556543B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202080050959.X,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/762;該發(fā)明授權(quán)基材親水性結(jié)合的方法是由V·拉里;F·里厄托爾;J-M·哈特曼;F·弗內(nèi)爾;迪迪埃·朗德呂;O·科諾查克;盧多維克·埃卡爾諾設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2020-07-13向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本基材親水性結(jié)合的方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明涉及一種用于將第一基材S1與第二基材S2親水性結(jié)合的方法,所述方法包括:?使第一基材S1與第二基材S2接觸,以在第一基材的主表面與第二基材的主表面之間形成結(jié)合界面,?施加適合于封閉所述結(jié)合界面的熱處理,所述方法的特征在于,其包括:在進(jìn)行接觸的步驟之前,在第一基材和或第二基材的主表面上沉積由非金屬材料制成的結(jié)合層12,所述非金屬材料對氫氣可透過并且在熱處理的溫度下的屈服強(qiáng)度低于位于結(jié)合界面處的第一基材S1和第二基材S2的材料中的至少一種,所述層的厚度為1nm至6nm,并且熱處理在低于或等于900℃,并且優(yōu)選低于或等于600℃的溫度下進(jìn)行。
本發(fā)明授權(quán)基材親水性結(jié)合的方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種用于將第一基材S1與第二基材S2親水性結(jié)合的方法,所述方法包括:-使所述第一基材S1與所述第二基材S2接觸,以在所述第一基材的主表面與所述第二基材的主表面之間形成結(jié)合界面I,-施加適合于封閉所述結(jié)合界面的熱處理,所述方法的特征在于,其包括:在進(jìn)行接觸的步驟之前,在所述第一基材和或第二基材的所述主表面上沉積由非金屬材料制成的結(jié)合層12,22,所述非金屬材料對氫氣可透并且在所述熱處理的溫度下的屈服強(qiáng)度低于位于所述結(jié)合界面處的所述第一基材S1和所述第二基材S2的材料中的至少一種的屈服強(qiáng)度,所述結(jié)合層的材料選自非晶硅和非晶鍺,所述結(jié)合層的厚度為1nm至6nm,并且所述方法的特征在于,所述熱處理在低于或等于900℃的溫度下進(jìn)行。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人索泰克公司;法國原子能和替代能源委員會,其通訊地址為:法國伯爾寧;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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