恭喜AMS國(guó)際有限公司皮特·赫布獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜AMS國(guó)際有限公司申請(qǐng)的專利微結(jié)構(gòu)及微結(jié)構(gòu)的制造方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN114902696B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202080072969.3,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H04R7/02;該發(fā)明授權(quán)微結(jié)構(gòu)及微結(jié)構(gòu)的制造方法是由皮特·赫布;米歇爾·穆勒;戈蘭·斯托揚(yáng)諾維奇設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2020-09-01向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本微結(jié)構(gòu)及微結(jié)構(gòu)的制造方法在說明書摘要公布了:一種用于微機(jī)電設(shè)備的微結(jié)構(gòu)1,其包括具有頂表面3和背表面4的基板2和布置在所述基板2的頂表面3處的薄膜結(jié)構(gòu)5。薄膜結(jié)構(gòu)5包括與基板2間隔開的凸起部分8、薄膜結(jié)構(gòu)5的與基板2機(jī)械接觸的下部部分6、至少一個(gè)突出部分9以及薄膜結(jié)構(gòu)5的與至少一個(gè)突出部分9相距一定距離的至少一個(gè)另外的側(cè)壁7,該突出部分是中空的并且具有至少一個(gè)側(cè)壁10及底部11并且突出部分經(jīng)由該底部11將凸起部分8機(jī)械連接到基板2。其中另外的側(cè)壁7將下部部分6與薄膜結(jié)構(gòu)5的凸起部分8機(jī)械連接。
本發(fā)明授權(quán)微結(jié)構(gòu)及微結(jié)構(gòu)的制造方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種用于在微機(jī)電設(shè)備中使用的微結(jié)構(gòu)1,其包括具有頂表面3和背表面4的基板2和布置在所述基板2的頂表面3處的薄膜結(jié)構(gòu)5,所述薄膜結(jié)構(gòu)5包括:-與所述基板2間隔開的凸起部分8,-所述薄膜結(jié)構(gòu)的下部部分6,其與所述基板2機(jī)械接觸,-至少一個(gè)突出部分9,其是中空的并且具有底部11和至少一個(gè)側(cè)壁10,并且所述突出部分經(jīng)由所述底部11將凸起部分8機(jī)械連接到基板2,以及-所述薄膜結(jié)構(gòu)5的至少一個(gè)另外的側(cè)壁7,其與所述至少一個(gè)突出部分9相距一定距離,其中,所述另外的側(cè)壁7將薄膜結(jié)構(gòu)5的下部部分6與凸起部分8機(jī)械連接,其中-所述薄膜結(jié)構(gòu)5的凸起部分8是所述微結(jié)構(gòu)1的可移動(dòng)部,-所述突出部分9形成中空輪廓,并包圍容積,所包圍的容積由所述底部11在豎直方向上和所述至少一個(gè)側(cè)壁10在所有橫向方向上界定,并且在所述突出部分9的頂側(cè)處,所包圍的容積連接到薄膜結(jié)構(gòu)5的環(huán)境,其中,所述突出部分9的頂側(cè)背離所述基板2。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人AMS國(guó)際有限公司,其通訊地址為:瑞士尤納;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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