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龍圖騰網恭喜AMS國際有限公司申請的專利微結構及微結構的制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114902696B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080072969.3，技術領域涉及：H04R7/02；該發明授權微結構及微結構的制造方法是由皮特·赫布;米歇爾·穆勒;戈蘭·斯托揚諾維奇設計研發完成，并于2020-09-01向國家知識產權局提交的專利申請。

本微結構及微結構的制造方法在說明書摘要公布了：一種用于微機電設備的微結構1，其包括具有頂表面3和背表面4的基板2和布置在所述基板2的頂表面3處的薄膜結構5。薄膜結構5包括與基板2間隔開的凸起部分8、薄膜結構5的與基板2機械接觸的下部部分6、至少一個突出部分9以及薄膜結構5的與至少一個突出部分9相距一定距離的至少一個另外的側壁7，該突出部分是中空的并且具有至少一個側壁10及底部11并且突出部分經由該底部11將凸起部分8機械連接到基板2。其中另外的側壁7將下部部分6與薄膜結構5的凸起部分8機械連接。

本發明授權微結構及微結構的制造方法在權利要求書中公布了：1.一種用于在微機電設備中使用的微結構1，其包括具有頂表面3和背表面4的基板2和布置在所述基板2的頂表面3處的薄膜結構5，所述薄膜結構5包括：-與所述基板2間隔開的凸起部分8，-所述薄膜結構的下部部分6，其與所述基板2機械接觸，-至少一個突出部分9，其是中空的并且具有底部11和至少一個側壁10，并且所述突出部分經由所述底部11將凸起部分8機械連接到基板2，以及-所述薄膜結構5的至少一個另外的側壁7，其與所述至少一個突出部分9相距一定距離，其中，所述另外的側壁7將薄膜結構5的下部部分6與凸起部分8機械連接，其中-所述薄膜結構5的凸起部分8是所述微結構1的可移動部，-所述突出部分9形成中空輪廓，并包圍容積，所包圍的容積由所述底部11在豎直方向上和所述至少一個側壁10在所有橫向方向上界定，并且在所述突出部分9的頂側處，所包圍的容積連接到薄膜結構5的環境，其中，所述突出部分9的頂側背離所述基板2。

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