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龍圖騰網恭喜福州大學申請的專利一種自動定位并校準晶圓中心的裝置及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112490168B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011494210.2，技術領域涉及：H01L21/68；該發明授權一種自動定位并校準晶圓中心的裝置及方法是由陳劍雄;張輝;潘文斌;余林康設計研發完成，并于2020-12-16向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種自動定位并校準晶圓中心的裝置及方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種自動定位并校準晶圓中心的裝置及方法，該裝置包括基座、線性傳感器、光纖、傳感器固定座、晶圓吸盤裝置、晶圓頂起機構、吸盤旋轉機構、第一直線運動機構和第二直線運動機構，吸盤旋轉機構安裝于第一直線運動機構上，以在其驅動下前后移動，晶圓吸盤裝置安裝于吸盤旋轉機構上，以在其驅動下旋轉，晶圓吸盤裝置上放置晶圓，以支撐并真空吸住晶圓，晶圓頂起機構安裝于晶圓吸盤裝置旁側的基座上，以在校準誤差時將晶圓從晶圓吸盤裝置上頂起，線性傳感器和光纖安裝于傳感器固定座上，傳感器固定座位于晶圓旁側并安裝于第二直線運動機構上，以在其驅動下前后移動。該裝置及方法有利于快速、精確地定位并校準晶圓中心。

本發明授權一種自動定位并校準晶圓中心的裝置及方法在權利要求書中公布了：1.一種自動定位并校準晶圓中心的裝置，其特征在于，包括基座、線性傳感器、光纖、傳感器固定座、晶圓吸盤裝置、晶圓頂起機構、吸盤旋轉機構、第一直線運動機構和第二直線運動機構，所述第一直線運動機構安裝于基座內，所述吸盤旋轉機構安裝于第一直線運動機構上，以在其驅動下前后移動，所述晶圓吸盤裝置安裝于吸盤旋轉機構上，以在其驅動下旋轉，所述晶圓吸盤裝置上放置晶圓，以支撐并真空吸住晶圓，所述晶圓頂起機構安裝于晶圓吸盤裝置旁側的基座上，以在校準誤差時將晶圓從晶圓吸盤裝置上頂起，所述線性傳感器和光纖安裝于傳感器固定座上，所述第二直線運動機構安裝于基座內，所述傳感器固定座位于晶圓旁側并安裝于第二直線運動機構上，以在其驅動下前后移動；所述傳感器固定座為具有側向凹口以讓晶圓伸入其間的匚字形結構，所述線性傳感器采用激光傳感器，其主要由投光器和受光器組成，所述投光器安裝在傳感器固定座的上部，所述受光器對應安裝在傳感器固定座的下部，以在晶圓旋轉過程中，通過線性傳感器輸出量的變化，計算晶圓中心偏差；所述光纖安裝在傳感器固定座的上部，其光束向下垂直照射在晶圓上，以在晶圓旋轉過程中，找到晶圓缺口的位置；所述第一直線運動機構為由第一電機驅動的第一電缸機構，所述吸盤旋轉機構安裝于第一電缸機構的滑座上，以在其驅動下前后移動，進而調節吸盤旋轉機構和晶圓吸盤裝置中心的位置；所述第二直線運動機構為由第二電機驅動的第二電缸機構，所述傳感器固定座安裝于第二電缸機構的滑座上，以在其驅動下前后移動，進而調節傳感器固定座與晶圓吸盤裝置之間的距離，從而適配不同尺寸大小的晶圓；所述第一直線運動機構和第二直線運動機構上分別設有光電傳感器，以檢測其上滑座的行程，避免滑座移動超出行程而發生撞擊；所述吸盤旋轉機構主要由第三電機和由其驅動旋轉的旋轉座組成，所述晶圓吸盤裝置安裝于旋轉座上；所述晶圓頂起機構主要由第四電機、凸輪機構和升降頂桿組成，所述第四電機驅動凸輪機構旋轉，受到導向作用只能豎向運動的升降頂桿下部與凸輪機構接觸，以在其驅動下上下運動；所述晶圓吸盤裝置通過真空泵產生真空，將晶圓牢牢吸住；還包括控制裝置，所述控制裝置設于基座內，所述控制裝置的輸入端分別與線性傳感器和光纖連接，輸出端分別與晶圓吸盤裝置、晶圓頂起機構、吸盤旋轉機構、第一直線運動機構和第二直線運動機構的驅動單元連接，以控制裝置各部分工作；采用所述裝置的自動定位并校準晶圓中心的方法，包括以下步驟：將晶圓放置在晶圓吸盤裝置上，控制晶圓吸盤裝置工作，真空吸住晶圓；控制吸盤旋轉機構工作，驅動晶圓吸盤裝置及其上的晶圓旋轉一周，傳感器固定座上的線性傳感器將獲取的數據輸出至控制裝置，控制裝置對獲取的數據進行處理，得到晶圓中心偏差數據；根據晶圓中心偏差數據找到晶圓中心位置，然后控制吸盤旋轉機構工作，將晶圓中心旋轉到晶圓中心與晶圓吸盤裝置中心連線與其前后移動方向重合的位置；控制晶圓吸盤裝置關閉真空，然后控制晶圓頂起機構上升頂起晶圓，使晶圓脫離晶圓吸盤裝置，而后控制第一直線運動機構工作，帶動吸盤旋轉機構及其上的晶圓吸盤裝置移動至晶圓中心，之后控制晶圓頂起機構下降，使晶圓下降至晶圓吸盤裝置上；控制晶圓吸盤裝置工作，真空吸住晶圓，然后控制第一直線運動機構反向運動，帶動吸盤旋轉機構及其上的晶圓吸盤裝置移動至原來的位置，至此晶圓中心誤差校正完成；控制吸盤旋轉機構工作，帶動晶圓吸盤裝置及其上的晶圓旋轉，通過傳感器固定座上的光纖找到晶圓缺口，即可將晶圓旋轉至任意角度，至此晶圓中心定位與校正完成。

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