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龍圖騰網(wǎng)恭喜廣東科技學(xué)院申請(qǐng)的專利一種低壓化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)氣裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113151806B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110453739.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/455；該發(fā)明授權(quán)一種低壓化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)氣裝置是由周繼承;呂博文設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-04-26向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種低壓化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)氣裝置在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)一種低壓化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)氣裝置，包括:爐體，所述爐體內(nèi)設(shè)置有混氣機(jī)構(gòu)和反應(yīng)機(jī)構(gòu)；所述混氣機(jī)構(gòu)包括混氣管；所述反應(yīng)機(jī)構(gòu)包括隔離板；所述隔離板一側(cè)面與所述混氣管另一端端面固接；所述爐體內(nèi)設(shè)置有外管；所述外管內(nèi)設(shè)置有內(nèi)管；所述內(nèi)管與所述外管一端均與所述隔離板另一側(cè)面固接；所述內(nèi)管與所述外管的另一端固接有后密封組件；所述外管內(nèi)壁與所述內(nèi)管外壁之間形成環(huán)形通道；所述隔離板側(cè)面繞所述隔離板中心周向陣列開(kāi)設(shè)有若干連通孔；所述連通孔兩端分別連通所述環(huán)形通道和所述混氣管內(nèi)腔；所述內(nèi)管外壁沿軸線方向螺旋開(kāi)設(shè)有若干通氣孔；若干所述通氣孔孔徑沿所述隔離板到所述后密封組件方向依次增大。

本發(fā)明授權(quán)一種低壓化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)氣裝置在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種低壓化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)氣裝置，其特征在于，包括:爐體1，所述爐體1內(nèi)設(shè)置有混氣機(jī)構(gòu)和反應(yīng)機(jī)構(gòu)；所述混氣機(jī)構(gòu)包括混氣管2；所述混氣管2設(shè)置在所述爐體內(nèi)一側(cè)；所述混氣管2的一端固接有前密封組件；所述反應(yīng)機(jī)構(gòu)包括隔離板3；所述隔離板3一側(cè)面與所述混氣管2另一端端面固接；所述爐體1內(nèi)設(shè)置有外管4；所述外管4內(nèi)設(shè)置有內(nèi)管5；所述內(nèi)管5與所述外管4一端均與所述隔離板3另一側(cè)面固接；所述內(nèi)管5與所述外管4的另一端固接有后密封組件；所述外管4內(nèi)壁與所述內(nèi)管5外壁之間形成環(huán)形通道6；所述隔離板3側(cè)面繞所述隔離板3中心周向陣列開(kāi)設(shè)有若干連通孔7；所述連通孔7兩端分別連通所述環(huán)形通道6和所述混氣管2內(nèi)腔；所述內(nèi)管5外壁沿軸線方向螺旋開(kāi)設(shè)有若干通氣孔8；若干所述通氣孔8孔徑沿所述隔離板3到所述后密封組件方向依次增大；所述前密封組件包括第一環(huán)形隔板9；所述第一環(huán)形隔板9與所述爐體1一端端面固接；所述第一環(huán)形隔板9內(nèi)壁與所述混氣管2外壁固接；所述混氣管2端面固接有固定法蘭10；所述固定法蘭10側(cè)面固接有前爐門(mén)11；所述前爐門(mén)11側(cè)面中心設(shè)置有螺旋進(jìn)氣孔12；所述螺旋進(jìn)氣孔12從所述爐體1外側(cè)到所述混氣管2內(nèi)腔孔徑依次增大，所述螺旋進(jìn)氣孔12孔壁上開(kāi)設(shè)有若干螺旋槽，氣體先通過(guò)所述螺旋進(jìn)氣孔12，所述螺旋進(jìn)氣孔12能夠加強(qiáng)氣體的擾動(dòng)，氣體能夠均勻的分布在所述混氣管2內(nèi)；所述后密封組件包括內(nèi)法蘭15；所述內(nèi)法蘭15與所述內(nèi)管5和所述外管4內(nèi)壁固接；所述爐體1另一端固接有第二環(huán)形隔板16；所述第二環(huán)形隔板16內(nèi)壁與所述外管4外壁固接；所述第二環(huán)形隔板16側(cè)面固接第二密封圈17；所述第二密封圈17側(cè)面固接有外法蘭18；所述外法蘭18一側(cè)與所述第二密封圈17側(cè)面和所述外管4另一端面固接；所述外法蘭18另一側(cè)固接有第三密封圈19；所述第三密封圈19側(cè)面固接有抽氣機(jī)構(gòu)；所述連通孔7孔徑為0.8mm-1.2mm，抽氣管22管徑為12mm-14mm；所述內(nèi)管5與所述外管4的長(zhǎng)度均為2.5m-3.5m；所述內(nèi)管5直徑為0.31m-0.33m；所述外管4直徑為0.3m-0.5m。

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